[發明專利]曝光機文件自動檢查系統有效
| 申請號： | 201310506771.3 | 申請日： | 2013-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN103617170B | 公開（公告）日： | 2017-04-12 |
| 發明（設計）人： | 趙靜芬;馬蘭濤;陳力鈞 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G06F17/30 | 分類號： | G06F17/30;G06F11/22 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 文件 自動 檢查 系統 | ||
1.一種曝光機文件自動檢查系統，其特征在于，所述系統包括：光刻曝光機文件建立條件信息模塊、光罩信息模塊、曝光機文件建立/導出模塊和數據處理模塊；
所述光罩信息模塊中存儲有光罩信息，所述曝光機文件建立/導出模塊中存儲有曝光機文件，所述曝光機文件建立條件信息模塊中存儲有建立曝光機文件時所需條件的參數信息；
所述數據處理模塊調取光罩信息模塊中存儲的光罩信息，并根據該光罩信息調取存儲于所述曝光機文件建立/導出模塊中的曝光機文件，所述數據處理模塊同時調取曝光機文件建立條件信息模塊中的參數信息后，將曝光機文件建立所需要更改的參數與調取的所述參數信息進行比對，并將比對結果進行輸出。
2.如權利要求1所述的曝光機文件自動檢查系統，其特征在于，當所述曝光機文件建立所需要更改的參數與調取的所述參數信息一致，所述數據處理模塊輸出比對結果正確；
當所述曝光機文件建立所需要更改的參數與調取的所述參數信息不一致，所述數據處理模塊輸出比對結果不正確。
3.如權利要求1所述的曝光機文件自動檢查系統，其特征在于，所述系統還包括操作終端，通過所述操作終端將所述曝光機文件輸入至所述曝光機文件建立/導出模塊中。
4.如權利要求1所述的曝光機文件自動檢查系統，其特征在于，通過一微型機對所述比對結果進行顯示。
5.如權利要求4所述的曝光機文件自動檢查系統，其特征在于，所述數據處理模塊中設置有批量處理單元，通過所述批量處理單元同時調取若干個曝光機文件。
6.如權利要求5所述的曝光機文件自動檢查系統，其特征在于，采用宏處理單元作為所述批量處理單元。
7.如權利要求6所述的曝光機文件自動檢查系統，其特征在于，通過所述操作終端，采用Excel?VBA工具對所述宏處理單元寫入宏命令。
8.如權利要求1所述的曝光機文件自動檢查系統，其特征在于，所述曝光機文件建立/導出模塊的終端為曝光機臺自帶的服務器。
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