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[發(fā)明專利]一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)及其導流方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310505537.9 申請日: 2013-10-24
公開(公告)號: CN103590103A 公開(公告)日: 2014-02-19
發(fā)明(設計)人: 蘇文佳;左然 申請(專利權)人: 江蘇大學
主分類號: C30B28/06 分類號: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 南京知識律師事務所 32207 代理人: 汪旭東
地址: 212013 江*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 多晶 鑄錠 爐氬氣 導流 系統(tǒng) 及其 方法
【權利要求書】:

1.一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng),包括氬氣進口直管(7)、石墨坩堝(12)和蓋在所述石墨坩堝(12)頂部的蓋板(8),所述氬氣進口直管(7)穿過所述蓋板(8)將氬氣導入所述石墨坩堝(12)內(nèi),其特征在于,所述石墨坩堝(12)的開口邊緣開有若干凹槽(6),所述蓋板(8)和所述凹槽(6)構成石墨坩堝的頂部側排氣口(15),所述頂部蓋板(8)上繞所述氬氣進口直管(7)對稱分布若干蓋板排氣口(14),所述氬氣進口直管(7)出口端與喇叭形進口管(10)的進口端連接,所述氬氣進口直管(7)出口端側壁上沿氬氣進口直管的中心軸線對稱分布有若干出口氣孔(9),所述喇叭形進口管(10)的出口端與噴淋式進口管(5)的進口端連接,所述噴淋式進口管(5)為有底管,所述噴淋式進口管(5)的底部沿氬氣進口直管的中心軸線對稱分布有若干底部氣孔(3),所述噴淋式進口管(5)的側壁上也沿氬氣進口直管的中心軸線對稱開有若干側壁氣孔(4)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng),其特征在于,所述凹槽(6)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng),其特征在于,所述蓋板排氣口(14)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng),其特征在于,所述出口氣孔(9)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng),其特征在于,所述底部氣孔(3)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng),其特征在于,所述側壁氣孔(4)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

7.一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)的導流方法,包括如下步驟:

A?在多晶硅熔料階段,向上提升氬氣進口直管(7),使喇叭形進口管(10)的進口端與蓋板(8)接觸,保證氬氣流量為10-100?slm,以減少氬氣對熔體硅的冷卻作用;

B?在晶體硅生長和收尾階段,向下移動氬氣進口直管(7),使噴淋式進口管(5)的底部與熔體硅自由表面距離為10-200?mm,氬氣流量為20-100?slm。

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