[發(fā)明專利]一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)及其導流方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310505537.9
• 申請日: 2013-10-24
• 公開（公告）號: CN103590103A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設計）人: 蘇文佳;左然
• 申請（專利權）人: 江蘇大學
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 南京知識律師事務所 32207
• 代理人: 汪旭東

1.一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)，包括氬氣進口直管（7）、石墨坩堝（12）和蓋在所述石墨坩堝（12）頂部的蓋板（8），所述氬氣進口直管（7）穿過所述蓋板（8）將氬氣導入所述石墨坩堝（12）內(nèi)，其特征在于，所述石墨坩堝（12）的開口邊緣開有若干凹槽(6)，所述蓋板(8)和所述凹槽(6)構成石墨坩堝的頂部側排氣口(15)，所述頂部蓋板(8)上繞所述氬氣進口直管(7)對稱分布若干蓋板排氣口(14)，所述氬氣進口直管(7)出口端與喇叭形進口管(10)的進口端連接，所述氬氣進口直管(7)出口端側壁上沿氬氣進口直管的中心軸線對稱分布有若干出口氣孔(9)，所述喇叭形進口管(10)的出口端與噴淋式進口管(5)的進口端連接，所述噴淋式進口管(5)為有底管，所述噴淋式進口管(5)的底部沿氬氣進口直管的中心軸線對稱分布有若干底部氣孔(3)，所述噴淋式進口管(5)的側壁上也沿氬氣進口直管的中心軸線對稱開有若干側壁氣孔(4)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)，其特征在于，所述凹槽(6)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)，其特征在于，所述蓋板排氣口(14)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)，其特征在于，所述出口氣孔(9)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)，其特征在于，所述底部氣孔(3)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)，其特征在于，所述側壁氣孔(4)的形狀為圓形或三角形或多邊形。

7.一種多晶硅鑄錠爐氬氣導流系統(tǒng)的導流方法，包括如下步驟：

A?在多晶硅熔料階段，向上提升氬氣進口直管(7)，使喇叭形進口管(10)的進口端與蓋板(8)接觸，保證氬氣流量為10-100?slm，以減少氬氣對熔體硅的冷卻作用;

B?在晶體硅生長和收尾階段，向下移動氬氣進口直管(7)，使噴淋式進口管(5)的底部與熔體硅自由表面距離為10-200?mm，氬氣流量為20-100?slm。