[發明專利]測試多端口器件的端口錯誤值反饋系統和方法

有效

• 申請號: 201310505004.0
• 申請日: 2013-10-23
• 公開（公告）號: CN103605063A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 李雨凡;莫保章
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 竺路玲

技術領域

本發明涉及微電子WAT（Wafer?Acceptance?Test，晶圓可接受測試）技術領域，尤其涉及一種測試多端口器件的端口錯誤值反饋系統和方法。

背景技術

WAT測試時會出現大致以下幾種測試錯誤：系統錯誤（system?error），測試參數錯誤（parameter?error），量測錯誤(measure?error)。系統錯誤是由于測試算法錯誤等原因造成的，測試參數錯誤是由于輸入參數不合理導致的，量測錯誤是器件自身或者是量測設備本身發生問題導致測試不到預定的值而發生錯誤。

WAT測試時分為多端測試以及單端測試，單端測試是只需要返回一次測試所得到的單端測試結果，多端測試是需要測試器件的多個端口，將多次測試結果進行數學運算的測試。

當單端測試發生上述錯誤，測試將進入錯誤情況（error?type）的判斷，同時返回一個相應的錯誤值（error?code）并結束當前測試，一般現在量測錯誤有4種錯誤情況（施加電壓/電流震蕩，施加電壓/電流超過量程，量測電壓/電流超過量程以及量測沒有達到指定的電壓/電流），一旦測試發生上述錯誤將結束測試同時返回一個值告訴用戶錯誤類型，只需記住4個值所對應錯誤類型即可判斷究竟發生何種錯誤。

多端測試情況十分復雜，以六端口器件為例，一共可能發生量測錯誤的可能一共有4096種錯誤（每個端口有4種錯誤情況，即共有4⁶=4096種量測錯誤情況），加上系統錯誤以及測試參數錯誤一共4098種錯誤，并且最大值不得超過3+E18，現有技術只是和單端測試一樣簡單返回一個錯誤值，無法清晰的表示出是哪些端口有問題，也無法知道出現這些問題的原因。故如何清晰表示多端口器件的端口測試錯誤并使得用戶在最后數據判斷時能直接知曉出現問題的端口以及出現問題的原因，是本發明實際要解決的技術問題。

中國專利（公開號：CN1264227A）公開了一種多端口器件分析裝置和方法以及該裝置的校準方法，多端口器件分析裝置包括：信號源，多個測試端口，多個測量單元，基準信號測量單元，多個終端電阻器，開關裝置，把測試信號有選擇地提供給一個測試端口（輸入端口），使終端電阻器不連接具有測試信號的測試端口（輸入端口），同時使終端電阻器連接所有其它的測試端口；其中，在不改變測試端口和DUT終端之間連接的情況下，獲得多端口DUT的參數，同時改變測試端口的選擇，直至所有測試端口都被指定為輸入端口。該專利能夠高效率和高精度地精確測量多端口器件的參數。

中國專利（公開號：CN101826509A）公開了一種WAT結構，以提高制備的檢測樣片的質量，提高檢測效果，進而提高采用WAT結構測試的測試效果。該WAT結構包括多行互連層連接孔，其中至少有一個連接孔與其它行連接孔間隙在該連接孔所屬行的投影有重疊。

上述兩專利并未公開如何清晰表示多端口器件的端口測試錯誤，并使得用戶在最后數據判斷時能直接知曉出現問題的端口以及出現問題的原因等技術內容。

發明內容

針對上述存在的問題，本發明公開一種測試多端口器件的端口錯誤值反饋系統，能夠在多端測試發生錯誤時產生并反饋錯誤值，根據不同的錯誤值能夠判斷出現錯誤的端口以及該端口的錯誤情況。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：

一種測試多端口器件的端口錯誤值反饋系統，應用于WAT測試中，其中，包括：

WAT測試機臺，分別與錯誤類型判斷裝置、循環判斷裝置連接，用于測試多端口器件的每個端口；

錯誤類型判斷裝置，與賦值裝置連接，用于在所述多端口器件的端口錯誤時判斷錯誤類型；

賦值裝置，分別與顯示裝置、錯誤值記錄裝置連接，用于根據所述多端口器件的端口數量設定標準錯誤值，以及根據所述錯誤類型對應的標準錯誤值進行端口錯誤值賦予；

錯誤值記錄裝置，與循環判斷裝置連接，用于選擇性記錄所述端口錯誤值；

循環判斷裝置，與計算裝置連接，用于循環判斷所述多端口器件的所有端口是否均完成測試；

計算裝置，與顯示裝置連接，用于在所述多端口器件的所有端口均完成測試后計算所述錯誤值記錄裝置中記錄的所有端口錯誤值之和，以得到輸出結果；以及，

顯示裝置，用于顯示所述端口錯誤值，或者所述輸出結果。

上述的測試多端口器件的端口錯誤值反饋系統，其中，所述錯誤類型包括系統錯誤、測試參數錯誤以及量測錯誤，所述賦值裝置根據錯誤類型對應的標準錯誤值進行端口錯誤值賦予，所述端口錯誤值由所述錯誤值記錄裝置選擇性記錄。