[發明專利]LPCVD設備的溫控系統自校正方法與裝置

有效

• 申請號: 201310504946.7
• 申請日: 2013-10-23
• 公開（公告）號: CN103576672A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 王峰;張乾
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: G05B23/02
• 分類號: G05B23/02;G05B13/04
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

1.一種LPCVD設備的溫控系統自校正方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

1）對LPCVD設備各個溫控區建立包含時滯誤差的PID控制模型；

2）建立包含權重系數的比例，積分，微分控制項的自校正調節項模型，并確定已建立的權重系數取值范圍；

3）建立監督控制項，用于加強LPCVD設備的溫控系統的穩定性。

2.根據權利要求1所述的一種LPCVD設備的溫控系統自校正方法，其特征在于，所述步驟1）的PID控制模型的構建方式為使用增量式方式模型，該模型為

Δu_i(t)=(K_ip(t)+ΔK_ip(t))(e_i(t)-e_i(t-1))+(K_ii(t)+ΔK_ii(t))e_i(t)

+(K_id(t)+ΔK_id(t))(e_i(t)-2e_i(t-1)+e_i(t-2))

式中，i為溫區的序號；t為時刻；e_i(t)，e_i(t-1)和e_i(t-2)分別為第t，第t-1和第t-2時刻所得的誤差信號；Δu_i(t)為控制器增量；K_ip為比例系數，K_ii為積分系數，K_id為微分系數。

3.根據權利要求1所述的一種LPCVD設備的溫控系統自校正方法，其特征在于，所述步驟2）中使用

構建含權重系數的比例調整規則控制模型，

其中ΔK_ip(t)為比例自校正調整項，α_i11、α_i12為調整項的權重系數、e_i(t)為誤差信號，ε為達到性能指標的誤差值。

4.根據權利要求1所述的一種LPCVD設備的溫控系統自校正方法，其特征在于，所述步驟2）中使用

構建含權重系數的積分調整規則控制模型，

其中ΔK_ii(t)為積分自校正調整項，α_i21、α_i22為調整項的權重系數、e_i(t)為誤差信號，ε為達到性能指標的誤差值。

5.根據權利要求1所述的一種LPCVD設備的溫控系統自校正方法，其特征在于，所述步驟2）中使用

構建含權重系數的微分調整規則控制模型，

其中ΔK_id(t)為積分自校正調整項，α_i31、α_i32為調整項的權重系數、e_i(t)為誤差信號，ε為達到性能指標的誤差值。

6.根據權利要求3-5任一項所述的一種LPCVD設備的溫控系統自校正方法，其特征在于，α_i11，α_i21，α_i31，α_i12，α_i22和α_i32的取值范圍為0-1。

7.根據權利要求6所述的一種LPCVD設備的溫控系統自校正方法，其特征在于，α_i11，α_i21，α_i31，α_i12，α_i22和α_i32的權重值分別為α_i11=0.4，α_i12=0.2，α_i21=0.02，α_i22=0.01，α_i31=0.1和α_i32=0.05。

8.根據權利要求1所述的一種LPCVD設備的溫控系統自校正方法，其特征在于，所述步驟3）監督項的建立方法為，設定誤差閾值，當誤差超過閾值時，啟動安全保護項，將系統控制在系統溫度允許范圍內。