[發(fā)明專利]一種用于測量柔性片狀材料表面電阻的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310503151.4 | 申請日: | 2013-10-23 |
| 公開(公告)號: | CN103529300A | 公開(公告)日: | 2014-01-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 黃時建;高琮 | 申請(專利權(quán))人: | 上海工程技術(shù)大學(xué) |
| 主分類號: | G01R27/02 | 分類號: | G01R27/02 |
| 代理公司: | 上海海頌知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 何葆芳 |
| 地址: | 201620 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 測量 柔性 片狀 材料 表面電阻 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種電阻測量裝置,具體說,是涉及一種用于測量柔性片狀材料表面電阻的裝置,屬于電阻測量技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
隨著微電子工業(yè)、精細(xì)化工工業(yè)的發(fā)展,對這些工業(yè)環(huán)境以及設(shè)備操作空間的靜電要求也越來越高,因此在紡織材料的制造中提出了大量與防止靜電發(fā)生的設(shè)計要求,隨之而來的對于靜電特性有關(guān)的表面電阻測量也提出了更高的要求。
現(xiàn)有用于測量物體表面電阻的裝置是由兩條約十厘米長的平行電極組成,該方式存在測量靈敏度較低、體積電阻影響較大、表面被污染后影響測試精度等缺陷。
發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷,本發(fā)明旨在提供一種測量靈敏度高、測試方便、且可消減體積電阻和表面污染造成的測試影響的用于測量柔性片狀材料表面電阻的裝置。
為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案來實現(xiàn):
一種用于測量柔性片狀材料表面電阻的裝置,包括平行電極探頭、導(dǎo)線、質(zhì)量塊和電阻儀,所述的平行電極探頭設(shè)置在待測材料上,所述的質(zhì)量塊設(shè)置在平行電極探頭的上方;且所述的平行電極探頭與電阻儀通過導(dǎo)線相連接、在待測材料表面形成回路。
作為一種優(yōu)選方式,所述的平行電極探頭包括片狀剛性絕緣底板、敷貼于片狀剛性絕緣底板上以一定幾何形態(tài)延伸并相互平行的成對導(dǎo)電層、位于成對導(dǎo)電層之間且覆蓋于片狀剛性絕緣底板表面的防污絕緣層及成對導(dǎo)電層的引出線。
作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的片狀剛性絕緣底板選用聚碳酸酯材料、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)材料、聚四氟乙烯(PTFE)材料或纖維增強(qiáng)復(fù)合材料。
作為更進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的片狀剛性絕緣底板選用玻璃纖維織物增強(qiáng)環(huán)氧樹脂的環(huán)氧玻璃布層壓板。
作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的成對導(dǎo)電層選用良導(dǎo)體材料,如金、銀、銅、鋁。
作為更進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的成對導(dǎo)電層選用銅箔材料。
作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的防污絕緣層為有機(jī)氟聚合物涂層。
作為更進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的防污絕緣層為聚四氟乙烯涂層。
作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的成對導(dǎo)電層通過導(dǎo)線與待測材料和電阻儀間形成回路。
作為一種優(yōu)選方式,所述待測材料設(shè)置在一水平放置的平整彈性墊板上,平行電極探頭的電極面設(shè)置在待測材料上。
作為一種優(yōu)選方式,在質(zhì)量塊與平行電極探頭間設(shè)有絕緣彈性層,所述絕緣彈性層與質(zhì)量塊和平行電極探頭間連接為一體。
作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的絕緣彈性層選用羊毛氈、橡膠板或發(fā)泡硅膠板。
作為更進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的絕緣彈性層選用發(fā)泡硅膠板。
作為進(jìn)一步優(yōu)選方式,所述的平行電極探頭采用印刷電路板制作工藝制作。
作為一種優(yōu)選方式,所述電阻儀的精度為0.1MΩ。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下有益效果:
1、可以通過延長平行電極探頭上導(dǎo)電層電極大幅度提高測量柔性片狀材料表面電阻裝置的靈敏度,避免采用高電壓可能擊穿材料和電擊操作人的弊端;
2、采用印刷電路板制作工藝制作平行電極探頭,可使平行電極探頭上導(dǎo)電層電極做得非常精確,做到幾何圖形和尺寸高度一致,以避免各產(chǎn)品之間的工藝制造所致的性能離散度;且可使平行電極探頭上的導(dǎo)電層電極的寬度做到0.1毫米,電極間的寬度做到0.2毫米,可以等間距、特定幾何曲線如螺旋線延伸,從而可在有限的面積內(nèi)獲得盡可能大的回路長度和盡可能小的回路寬度,最大幅度地消減體積電阻對測試的影響;
3、在平行電極探頭上相互平行的成對導(dǎo)電層之間設(shè)置的覆蓋于剛性絕緣底板表面的防污絕緣層,可最大限度地防止對平行電極探頭上導(dǎo)電層電極的污染,尤其是在濕空氣環(huán)境下對電極的空載絕緣性能的影響;
4、使質(zhì)量塊與平行電極探頭形成一體,可極大地方便測試操作。
附圖說明
圖1是本發(fā)明所述裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本發(fā)明所述平行電極探頭的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3是實施例所提供的一種平行電極探頭的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4是實施例所提供的另一種平行電極探頭的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中:1、平行電極探頭;11、片狀剛性絕緣底板;12、成對導(dǎo)電層;13、防污絕緣層;14、成對導(dǎo)電層的引出線;2、導(dǎo)線;3、質(zhì)量塊;4、電阻儀;5、待測材料;6、平整彈性墊板;7、絕緣彈性層。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步詳細(xì)闡述。
實施例
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