[發(fā)明專利]基于硅諧振式傳感器的壓力生成方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310503082.7
• 申請日: 2013-10-23
• 公開（公告）號: CN104568289A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉海東;李彬;王斌;張金盛;竇小明;劉莉;趙佳媚;李亮;張銀輝
• 申請（專利權(quán)）人: 北京臨近空間飛行器系統(tǒng)工程研究所;中國運(yùn)載火箭技術(shù)研究院
• 主分類號: G01L9/00
• 分類號: G01L9/00;G01L19/04
• 代理公司: 核工業(yè)專利中心 11007
• 代理人: 高尚梅;劉昕宇

1.一種基于硅諧振式傳感器的壓力生成方法，其特征在于，包括下述步驟：

步驟一：數(shù)據(jù)采集

由硅諧振傳感器采集壓力信息，該壓力信息以頻率的形式被輸出，同時(shí)硅諧振傳感器還采集實(shí)時(shí)的溫度數(shù)據(jù)，

步驟二：數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換

硅諧振傳感器以頻率形式輸出的壓力信息被轉(zhuǎn)換為脈沖計(jì)數(shù)；硅諧振傳感器輸出的模擬信號的溫度信息被轉(zhuǎn)換數(shù)字信號形式，

步驟三：計(jì)算

用下述公式計(jì)算壓力值

x=fi-f‾---(1)]]>

P=k₁₁x+k₁₂xy+k₁₃xy²+k₁₄xy³+k₁₅xy⁴+k₁₆xy⁵

+k₂₁x²+k₂₂x²y+k₂₃x²y²+k₂₄x²y³+k₂₅x²y⁴+k₂₆x²y⁵

+k₃₁x³+k₃₂x³y+k₃₃x³y²+k₃₄x³y³+k₃₅x³y⁴+k₃₆x³y⁵

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+k₄₁x⁴+k₄₂x⁴y+k₄₃x⁴y²+k₄₄x⁴y³+k₄₅x⁴y⁴+k₄₆x⁴y⁵

+k₅₁x⁵+k₅₂x⁵y+k₅₃x⁵y²+k₅₄x⁵y³+k₅₅x⁵y⁴+k₅₆x⁵y⁵

其中，f_i是硅諧振傳感器輸出的頻率信號，為選定的硅諧振傳感器振動頻率基準(zhǔn)，是硅諧振傳感器最大量程的一半對應(yīng)的數(shù)值，U_溫i是轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號的溫度信息值，是溫度20℃時(shí)硅諧振傳感器輸出的溫度信息值，系數(shù)k₁₁～k₅₆分別為：

k₁₁1.01325k₁₂-0.00243k₁₃-0.72358k₁₄2.33162k₁₅-0.43251k₁₆0.00326

k₂₁2.14302k₂₂-0.32446k₂₃0.32854k₂₄-0.99864k₂₅0.00134k₂₆-0.23146k₃₁0.98633k₃₂1.30105k₃₃0.43882k₃₄0.06102k₃₅0.02214k₃₆0.00974k₄₁-0.05241k₄₂0.02571k₄₃0.00963k₄₄-0.00701k₄₅0.00385k₄₆-0.00013k₅₁0.00032k₅₂-0.00021k₅₃0.00001k₅₄-0.00001k₅₅0.00011k₅₆-0.00024

P就是最終輸出的壓力值。