[發(fā)明專利]一種批量硅片吸持裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310500266.8
• 申請日: 2013-10-23
• 公開（公告）號: CN103594409A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許波濤;龍會躍;鐘新華
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113
• 代理人: 馬強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種批量硅片吸持裝置。?

背景技術(shù)

國內(nèi)目前已有的太陽能電池片生產(chǎn)線中大多數(shù)采用人工裝片方式，生產(chǎn)效率受到一定限制，硅片自動裝卸片設(shè)備代替人工操作，減少手工跟硅片的接觸，同時采用批量搬運(yùn)的方式，可以提高生產(chǎn)效率。

自動裝卸片設(shè)備關(guān)鍵是要能夠?qū)崿F(xiàn)批量硅片搬運(yùn)，因此必須設(shè)計(jì)更可靠、更有效的批量硅片吸持機(jī)構(gòu)，否則無法實(shí)現(xiàn)有效可靠的硅片搬運(yùn)。

現(xiàn)有硅片吸持機(jī)構(gòu)主要存在兩個方面的問題，或是難以實(shí)現(xiàn)較大數(shù)量（特別是25片以上）的同時吸附，或是可以同時吸附較大數(shù)量的硅片但必須是絕大部分吸爪都和硅片接觸，比如：工作狀態(tài)下可以同時吸附50片，但是不可以只吸附25片。除此之外，現(xiàn)有吸持機(jī)構(gòu)的吸爪尺寸偏厚，吸爪之間的間距偏大，不能直接從硅片花籃盒或石英舟中取片，在使用中需要增加過渡裝置，降低了搬運(yùn)效率。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種批量硅片吸持裝置，可實(shí)現(xiàn)自動裝卸片過程中的批量硅片吸持，可以大數(shù)量同時吸持硅片，也可以小數(shù)量同時吸持甚至單個吸爪獨(dú)立吸持硅片，可直接從硅片花籃盒或石英舟中批量取片。

本發(fā)明的技術(shù)方案為，一種批量硅片吸持裝置，包括頂板和頂板下方的多個結(jié)構(gòu)、大小一致的吸爪，所述頂板的兩端安裝端板；所述吸爪的一個端面為豎直面，吸爪的上部為連接部而吸爪的下部為夾持部，連接部的底部與夾持部的頂部連接，連接部的厚度大于夾持部的厚度，并設(shè)有連接機(jī)構(gòu)沿垂直于吸爪厚度方向?qū)⒏魑ΟB加固定到兩個端板之間，相鄰吸爪的夾持部之間的間隙大于硅片的厚度；該吸持裝置還設(shè)有吸附硅片的真空吸附機(jī)構(gòu)。

通過連接機(jī)構(gòu)將多個吸爪串聯(lián)疊加起來，兩個端板將各吸爪嚴(yán)壓緊，保證所有吸爪間隙均勻，吸爪夾持部的厚度就是吸附硅片的排列間距，可根據(jù)硅片花籃盒或石英舟中硅片的排列間距制作吸爪夾持部的厚度，即可從硅片花籃盒或石英舟中批量取片；為確保吸持效果，還在夾持部設(shè)置多個用于真空吸附的同心凹槽；本發(fā)明設(shè)置的吸爪，可確保每個吸爪都可單獨(dú)取片，因此可以實(shí)現(xiàn)大數(shù)量同時吸持硅片，也可以小數(shù)量同時吸持甚至單個吸爪獨(dú)立吸持硅片。

連接部約占吸爪長度的三分之一，而夾持部約占吸爪長度的三分之二，在保證連接穩(wěn)定的同時，還能確保夾持的效果。

所述真空吸附機(jī)構(gòu)包括設(shè)在吸爪夾持部表面的多個同心凹槽、同心凹槽上的凹槽通氣孔、設(shè)在吸爪連接部并與每個凹槽通氣孔連接的吸爪通氣孔、安裝在端板外側(cè)并向吸爪通氣孔通入真空負(fù)壓的管接頭；所述每個凹槽通氣孔與吸爪通氣孔通過設(shè)在吸爪內(nèi)部的通氣通道連接。

當(dāng)所述批量硅片吸持裝置工作時，向吸爪通氣孔內(nèi)通入一個真空負(fù)壓（例如45千帕左右），這樣每個吸爪上的凹槽部分均得到一個相對差一點(diǎn)的真空負(fù)壓，可以足夠穩(wěn)定吸附單個硅片。

所述各凹槽通氣孔與吸爪通氣孔在一條直線上，吸爪通氣孔到各凹槽通氣孔的距離最短，減少傳輸距離，保證吸附效果。

所述連接機(jī)構(gòu)包括設(shè)在吸爪連接部的連接孔和穿過連接孔的連接桿，按照本發(fā)明的實(shí)施例，對稱設(shè)有4個連接孔和4根連接桿將吸爪固定。

所述吸爪由陶瓷材料制成，不會污染硅片。

本發(fā)明中，吸爪的數(shù)量可以是25個也可以50個或其他數(shù)量，吸爪的具體數(shù)量根據(jù)實(shí)際搬運(yùn)的需要而定。

整個硅片吸持裝置的真空通路要求，吸爪通氣孔要足夠大，同時凹槽通氣孔相對比較小。當(dāng)進(jìn)行批量吸片時，外圍的機(jī)械手臂或相似運(yùn)動裝置將整個硅片吸持裝置沿著硅片放置的方向緩慢插入若干相鄰硅片之間，然后移動硅片吸持裝置使吸爪和硅片接觸，開啟真空吸附機(jī)構(gòu)，這樣，與吸爪接觸的硅片全部被吸附，可以被搬運(yùn)到指定位置。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益結(jié)果是：通過本發(fā)明的批量硅片吸持機(jī)構(gòu)，可以很好的實(shí)現(xiàn)批量吸持硅片，可以大數(shù)量同時吸持硅片，也可以小數(shù)量同時吸持甚至單個吸爪獨(dú)立吸持硅片，同時結(jié)構(gòu)非常緊湊，可以直接從硅片花籃盒或石英舟中批量取片，提高搬運(yùn)效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為吸爪的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式