[發(fā)明專利]固體攝像器件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310491573.4
• 申請日: 2010-10-29
• 公開（公告）號: CN103646952A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發(fā)明（設計）人: 出羽恭子;岡崎裕美;北野良昭
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 陳桂香;曹正建

1.一種固體攝像器件，其包括：

半導體基板；

多個光電二極管，它們布置在所述半導體基板中；

多個絕緣膜，它們形成在所述半導體基板上，且所述多個絕緣膜具有不同材料和/或不同折射率；以及

濾色器，所述濾色器以與各所述光電二極管對應的方式形成在所述多個絕緣膜上。

2.根據權利要求1所述的固體攝像器件，其中所述多個絕緣膜具有兩個以上絕緣膜。

3.根據權利要求1所述的固體攝像器件，其中所述多個絕緣膜至少具有第一、第二和第三絕緣膜。

4.根據權利要求3所述的固體攝像器件，其中所述第二絕緣膜的折射率大于所述第一絕緣膜的折射率。

5.根據權利要求3所述的固體攝像器件，其中所述第三絕緣膜的折射率大于所述第二絕緣膜的折射率。

6.根據權利要求3所述的固體攝像器件，其中用于具有紅色、綠色和藍色濾色器中任一種濾色器的像素的所述第二絕緣膜的厚度和/或折射率與用于具有其他濾色器的像素的所述第二絕緣膜的厚度和/或折射率不同。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的固體攝像器件，其還包括多層布線，所述多層布線形成在所述濾色器與所述半導體基板的表面之間。

8.根據權利要求3至6中任一項所述的固體攝像器件，其中所述第三絕緣膜為由氮化硅制成的保護膜。

9.根據權利要求3所述的固體攝像器件，其中對于具有紅色濾色器的像素、具有綠色濾色器的像素和具有藍色濾色器的像素而言，所述第二絕緣膜具有不同厚度。

10.根據權利要求3或9所述的固體攝像器件，其中

用于具有紅色濾色器的像素的所述第二絕緣膜的厚度與用于具有綠色濾色器的像素的所述第二絕緣膜的厚度的差為：紅光波長/4-綠光波長/4，并且

用于具有綠色濾色器的像素的所述第二絕緣膜的厚度與用于具有藍色濾色器的像素的所述第二絕緣膜的厚度的差為：綠光波長/4-藍光波長/4。