[發明專利]太陽能電池用基板的表面處理方法

有效

• 申請號: 201310488489.7
• 申請日: 2013-10-17
• 公開（公告）號: CN103849937A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 尹起燦;郭將榮;金起弘;金鍊起;李秉喆;崔鍾亨;韓奭奎;洪定義
• 申請（專利權）人: 韓化石油化學株式會社
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;H01L31/18
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 朱梅;張皓

1.一種太陽能電池用基板的表面處理方法，包括以下步驟:

對于太陽能電池用基板進行第一濕式蝕刻；

進行反應離子蝕刻；以及

進行第二濕式蝕刻。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池用基板的表面處理方法，其中通過所述第一濕式蝕刻，同時進行去除切割損傷和第一制絨處理。

3.根據權利要求1所述的太陽能電池用基板的表面處理方法，其中在進行所述第一濕式蝕刻時，使用包含體積比為1:2～4:1～3的HF、HNO₃及H₂O的溶液。

4.根據權利要求1所述的太陽能電池用基板的表面處理方法，其中通過所述反應離子蝕刻進行第二制絨處理，以在所述基板的表面上形成金字塔結構。

5.根據權利要求1所述的太陽能電池用基板的表面處理方法，其中在進行所述反應離子蝕刻時，使用包含Cl₂、SF₆及O₂的氣體。

6.根據權利要求4所述的太陽能電池用基板的表面處理方法，其中所述金字塔結構的高寬比為0.75～1.1。

7.根據權利要求1所述的太陽能電池用基板的表面處理方法，其中在進行所述第二濕式蝕刻時，使用包含體積比為1:13～17:15～19的HF、HNO₃及H₂O的溶液。

8.根據權利要求1所述的太陽能電池用基板的表面處理方法，其中所述第二濕式蝕刻，在溫度為20～30℃的條件下進行10～60秒鐘。

9.根據權利要求1所述的太陽能電池用基板的表面處理方法，其中所述太陽能電池用基板為選自單晶基板、單晶區和多晶區混合在一起的基板以及多晶基板中的一種類單晶基板。