[發明專利]一種諧振式微加速度計

無效

• 申請號: 201310488197.3
• 申請日: 2013-10-17
• 公開（公告）號: CN103529242A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 周吳;陳余;丁子喬;于慧君;彭倍
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G01P15/097
• 分類號: G01P15/097
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227
• 代理人: 周永宏

1.一種諧振式微加速度計，包括基底層和結構層，其特征在于，結構層包括音叉諧振單元、連接塊、驅動電極、檢測電極、慣性單元和耦合電容，所述音叉諧振單元包括音叉振梁和振梁電極，音叉振梁懸空，一端通過錨點與基底固定連接，另一端為自由端，振梁電極與音叉振梁固定連接；連接塊包括連接塊電極，所述連接塊懸空并與音叉振梁的自由端固定連接；驅動電極和檢測電極與振梁電極耦合連接，二者根據音叉振梁震動中的位置分別與振梁電極耦合；慣性單元懸空并與連接塊之間通過耦合電容耦合，耦合電容用于將慣性塊所受的慣性力耦合到連接塊上。

2.根據權利要求1所述的一種諧振式微加速度計，其特征在于，連接塊通過兩個支撐梁支撐懸空，支撐梁通過錨點錨固到基底上。

3.根據權利要求1或2所述的一種諧振式微加速度計，其特征在于，所述耦合電容為平行板電容器。

4.根據權利要求1-3之任一項權利要求所述的一種諧振式微加速度計，其特征在于，所述耦合電容為多組梳齒狀平行板電容器，并優選為四組。

5.根據權利要求1所述的一種諧振式微加速度計，其特征在于，所述慣性單元包括慣性塊和折疊梁，所述慣性塊由多個折疊梁支撐懸空，折疊梁由錨點固定連接到基底上。

6.根據權利要求5所述的一種諧振式微加速度計，其特征在于，所述折疊梁為多折疊梁，優選為三折疊梁。

7.根據權利要求1或2所述的一種諧振式微加速度計，其特征在于，所述驅動電極、檢測電極和振梁電極的電極板為梳齒狀電極板。

8.根據權利要求1-7之任一項權利要求所述的一種諧振式微加速度計，其特征在于，所述驅動電極和振梁電極分別與靜電電源相連接。