[發(fā)明專利]LPCVD設(shè)備的耗散非脆弱控制方法與裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310485876.5
• 申請日: 2013-10-16
• 公開（公告）號(hào): CN103529705A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王峰;張芳
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G05B13/04
• 分類號(hào): G05B13/04;G05D23/00
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

1.一種LPCVD設(shè)備的耗散非脆弱控制方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

1）對LPCVD設(shè)備建立溫度控制系統(tǒng)模型；

2）對已建立的系統(tǒng)模型中加入非脆弱狀態(tài)反饋控制器模型，建立含參耗散非脆弱控制器模型；

3）使用二次能量供給函數(shù)對已建立的含參耗散非脆弱控制器模型進(jìn)行穩(wěn)定性分析；

4）在含參耗散非脆弱控制器模型穩(wěn)定時(shí)，對含參耗散非脆弱控制器模型中的變量進(jìn)行求解，確定耗散非脆弱控制器模型。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種LPCVD設(shè)備的耗散非脆弱控制方法，其特征在于，所述步驟1）的溫度控制系統(tǒng)模型的構(gòu)建方法為使用狀態(tài)空間表達(dá)式進(jìn)行構(gòu)建。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種LPCVD設(shè)備的耗散非脆弱控制方法，其特征在于，使用公式

x(t+1)=Ax(t)+Bu(t)+[f(x(t))-Ax(t)]+[g(x(t))-B]u(t)

y(t)=Cx(t)??????????????????????（1）

構(gòu)建含有建模誤差的溫度控制系統(tǒng)模型，

其中f(x)和g(x)為控制系統(tǒng)的非線性部分，x(t)為控制系統(tǒng)的狀態(tài)變量，C為系統(tǒng)輸出矩陣，y(t)為控制系統(tǒng)的輸出，u(t)為控制系統(tǒng)的輸入，A為系統(tǒng)狀態(tài)矩陣，B為系統(tǒng)輸入矩陣，[f(x(t))-Ax(t)]+[g(x(t))-B]u(t)即為建模誤差w(t)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種LPCVD設(shè)備的耗散非脆弱控制方法，其特征在于，所述步驟2）加入的非脆弱狀態(tài)反饋控制器模型為u(t)=(K+ΔK)x(t)，其中K為反饋增益矩陣，ΔK為增益不確定項(xiàng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種LPCVD設(shè)備的耗散非脆弱控制方法，其特征在于，所述步驟2）中使用增益不確定項(xiàng)ΔK的取值方法為ΔK=ηK_p且||η||≤1，其中，K_p為比例反饋增益矩陣。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種LPCVD設(shè)備的耗散非脆弱控制方法，其特征在于，所述步驟3）中使用

ΔV(t)-{yTQy+2yTSw+wTRw}+αwTw=x(t)w(t)TL1-CTS*L2x(t)w(t)-x(t)w(t)TC0TQC0x(t)w(t)---(2)=x(t)w(t)T{L1-CTS*L2-C0TQC0}x(t)w(t)]]>

進(jìn)行穩(wěn)定性分析，

其中Q，S，R是適當(dāng)維實(shí)矩陣，Q和R是對稱矩陣，υ為控制系統(tǒng)耗散性，V(t)為變量，ΔV(t)為V(t)對時(shí)間的差分。