[發明專利]鈦聚焦環的制作方法在審
| 申請號： | 201310483498.7 | 申請日： | 2013-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN104561912A | 公開（公告）日： | 2015-04-29 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;張金林 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 聚焦 制作方法 | ||
1.一種鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，包括：
提供高純鈦錠；
對所述高純鈦錠進行加工形成鈦條；
對所述鈦條進行整平處理；
對所述鈦條進行切割形成鈦板條；
對所述鈦條或者所述鈦板條進行熱處理；
對所述鈦板條進行加工形成鈦聚焦環。
2.如權利要求1所述的鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，對所述鈦條進行整平處理，直至所述鈦條的每米彎曲度小于或者等于0.5mm。
3.如權利要求1所述的鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，對所述鈦條進行熱處理包括：對所述鈦條加熱升溫至600℃～700℃，保溫30min～60min，進行冷卻。
4.如權利要求1所述的鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，對所述高純鈦錠進行加工形成所述鈦條包括：
對所述高純鈦錠進行鍛造；
對所述高純鈦錠進行熱處理；
對所述高純鈦錠進行軋制形成所述鈦條。
5.如權利要求4所述的鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，對所述高純鈦錠進行熱處理包括：對所述高純鈦錠加熱升溫至400℃～500℃，保溫30min～60min，進行冷卻。
6.如權利要求1所述的鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，對所述鈦板條進行加工形成所述鈦聚焦環包括：
對所述鈦板條進行卷環處理使所述鈦板條首尾相連形成鈦環；
對所述鈦環進行焊接或者鉚接形成鈦聚焦環；
對所述鈦聚焦環進行熱處理。
7.如權利要求6所述的鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，采用氬弧焊對所述鈦環進行焊接。
8.如權利要求6所述的鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，對所述鈦聚焦環進行熱處理包括：對所述鈦聚焦環加熱升溫至400℃～500℃，保溫30min～60min，進行冷卻。
9.如權利要求6所述的鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，在對所述鈦聚焦環進行熱處理之后，所述制造方法還包括：對所述鈦聚焦環的內表面和外表面進行車削加工形成花紋。
10.如權利要求1所述的鈦聚焦環的制造方法，其特征在于，所述制造方法還包括：對所述鈦聚焦環進行尺寸檢測和真空包裝。
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