[發(fā)明專(zhuān)利]起吊裝置及自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310481830.6
• 申請(qǐng)日: 2013-10-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104512723A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-04-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廖桓祺;張勝榮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 華亞科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B65G49/07
• 分類(lèi)號(hào): B65G49/07;B65G47/04
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;李靜

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種起吊裝置，特別是指一種應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠內(nèi)的晶圓承載裝置的起吊裝置及其自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著晶圓制程的不斷改進(jìn)以及考慮經(jīng)濟(jì)規(guī)模與成本效益，晶圓的面積已從300mm增加至450mm，且未來(lái)勢(shì)必會(huì)往更大尺寸發(fā)展，使操作員無(wú)法直接搬運(yùn)而必須仰賴(lài)自動(dòng)搬運(yùn)裝置或系統(tǒng)。據(jù)此，搬運(yùn)裝置/系統(tǒng)的運(yùn)作績(jī)效將直接影響到半導(dǎo)體廠的產(chǎn)能績(jī)效，換言之，搬運(yùn)裝置/系統(tǒng)必須維持高穩(wěn)定度及高績(jī)效才能符合生產(chǎn)需求。

目前半導(dǎo)體晶圓廠內(nèi)多仰賴(lài)起吊裝置（Suspension?type?hoist?device）及無(wú)人搬運(yùn)車(chē)（Overhead?hoist?transfer,OHT）來(lái)進(jìn)行晶圓搬運(yùn)作業(yè)。所述的起吊裝置可通過(guò)懸吊元件（如同步皮帶）將晶圓盒（FOUP）從一制程機(jī)臺(tái)的載入端（Loadport）垂直吊起，而無(wú)人搬運(yùn)車(chē)可沿著設(shè)置在天花板上的軌道將此晶圓盒傳送至另一制程機(jī)臺(tái)的載入端。

然而，在一般自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)中，當(dāng)起吊裝置的用于抓取晶圓盒的部件非處于水平狀態(tài)或懸吊元件發(fā)生晃動(dòng)時(shí)，往往會(huì)造成無(wú)人搬運(yùn)車(chē)發(fā)生異常。原因在于，抓取部件與晶圓盒之間存在對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題，而懸吊元件的搖擺通常會(huì)造成位置偏差；另外，懸吊元件若選用同步皮帶，其使用過(guò)久后可能因彈性疲乏致使此抓取部件非處于水平狀態(tài)，從而無(wú)法順利抓取晶圓盒。

承上，此時(shí)無(wú)人搬運(yùn)車(chē)只能停留在原地等待異常排除，且同時(shí)會(huì)導(dǎo)致后方搬運(yùn)車(chē)無(wú)法行進(jìn)而拉長(zhǎng)了整體搬運(yùn)時(shí)間；盡管可通過(guò)定期維修保養(yǎng)起吊裝置來(lái)減少異常事件發(fā)生的頻率，但這些狀況仍然會(huì)影響到半導(dǎo)體晶圓廠的產(chǎn)能效率。

因此，本發(fā)明人有鑒于傳統(tǒng)的晶圓搬運(yùn)裝置/系統(tǒng)實(shí)在有其改良的必要性，遂以其多年從事相關(guān)領(lǐng)域的創(chuàng)作設(shè)計(jì)及專(zhuān)業(yè)制造經(jīng)驗(yàn)，積極地針對(duì)晶圓搬運(yùn)裝置的構(gòu)造進(jìn)行改良研究，在各方條件的審慎考慮下，終于開(kāi)發(fā)出本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，目的在于提供一種起吊裝置及自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)，所述的起吊裝置具有自動(dòng)水平及自動(dòng)定位功能，可防止搖晃及對(duì)準(zhǔn)不當(dāng)而造成無(wú)人搬運(yùn)車(chē)（OHT）發(fā)生異常的問(wèn)題，進(jìn)而可改善自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)的整體效率。

為達(dá)成上述目的及效果，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：一種起吊裝置，用于將一晶圓盒傳送至一高架傳輸系統(tǒng)，其中該高架傳輸系統(tǒng)包含一懸吊式軌道及至少一位于該懸吊式軌道上的自動(dòng)搬運(yùn)車(chē)，該起吊裝置包括一升降基座、多個(gè)懸吊組件及多個(gè)第一驅(qū)動(dòng)組件。該升降基座具有一水平傳感器，用以感測(cè)該升降基座處于一水平狀態(tài)或一非水平狀態(tài)；這些懸吊組件設(shè)置于該自動(dòng)搬運(yùn)車(chē)上，并以垂吊方式連接該升降基座；這些第一驅(qū)動(dòng)組件分別連接這些懸吊組件，并根據(jù)該水平傳感器所檢測(cè)的水平狀態(tài)同步驅(qū)動(dòng)這些懸吊組件，根據(jù)該非水平狀態(tài)分別驅(qū)動(dòng)這些懸吊組件，以使該升降基座處于該水平狀態(tài)。

基于上述起吊裝置，本發(fā)明另提供一種自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)，包括一懸吊式軌道、至少一自動(dòng)搬運(yùn)車(chē)及至少一起吊裝置。該自動(dòng)搬運(yùn)車(chē)可移動(dòng)地設(shè)置于該懸吊式軌道，用以在多個(gè)晶圓加載端之間傳送一晶圓盒；該起吊裝置設(shè)置于該自動(dòng)搬運(yùn)車(chē)上且包括一升降基座、多個(gè)懸吊組件及多個(gè)第一驅(qū)動(dòng)組件，該升降基座具有一水平傳感器，用以感測(cè)該升降基座處于一水平狀態(tài)或一非水平狀態(tài)，這些懸吊組件設(shè)置于該自動(dòng)搬運(yùn)車(chē)上，并以垂吊方式連接該升降基座，這些第一驅(qū)動(dòng)組件分別連接這些懸吊組件，并根據(jù)該水平傳感器所檢測(cè)的水平狀態(tài)同步驅(qū)動(dòng)這些懸吊組件，根據(jù)該非水平狀態(tài)分別驅(qū)動(dòng)這些懸吊組件，以使該升降基座處于該水平狀態(tài)。

綜上所述，本發(fā)明的起吊裝置通過(guò)一第一驅(qū)動(dòng)組件致動(dòng)一懸吊組件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)并搭配使用水平傳感器，因此具有自動(dòng)水平調(diào)整的功能，可確保升降基座在抓取晶圓盒時(shí)維持水平狀態(tài)，進(jìn)而可減少自動(dòng)搬運(yùn)車(chē)因?yàn)槠鸬跹b置水平歪斜所造成的故障。

以上關(guān)于本發(fā)明內(nèi)容的說(shuō)明以及以下實(shí)施方式的說(shuō)明是用以舉例并解釋本發(fā)明的原理，并且提供本發(fā)明的專(zhuān)利申請(qǐng)范圍進(jìn)一步的解釋。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的第一實(shí)施例的自動(dòng)化搬運(yùn)系統(tǒng)的立體視圖。

圖2為本發(fā)明的第一實(shí)施例的起吊裝置的立體視圖。

圖3為本發(fā)明的第一實(shí)施例的起吊裝置的運(yùn)作示意圖（一）。

圖4為本發(fā)明的第一實(shí)施例的起吊裝置的運(yùn)作示意圖（二）。

圖5為本發(fā)明的第一實(shí)施例的起吊裝置的運(yùn)作示意圖（三）。

圖6為本發(fā)明的第二實(shí)施例的起吊裝置的立體視圖。

圖7為本發(fā)明第二實(shí)施例的升降基座與晶圓盒進(jìn)行對(duì)位的示意圖（一）。

圖8為本發(fā)明第二實(shí)施例的升降基座與晶圓盒進(jìn)行對(duì)位的示意圖（二）。

【符號(hào)說(shuō)明】