[發明專利]氣體導入裝置和電感耦合等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201310481558.1
• 申請日: 2013-10-15
• 公開（公告）號: CN103730317A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 邊見篤;三枝直也
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種氣體導入裝置，其特征在于：

所述氣體導入裝置將氣體導入處理裝置的處理室內，所述處理裝置具備：

主體容器；

處理室，其設置在所述主體容器的內部，收納被處理體；

板狀部件，其構成所述處理室的頂面部分；

氣體供給裝置，其對所述處理室供給氣體；和

配管，其將來自所述氣體供給裝置的氣體導入所述處理室內，

所述氣體導入裝置具有：

中空狀的陶瓷制部件，其包括具有能夠插入到貫通開口的大小的第一凸緣部和比所述貫通開口大的第二凸緣部，該陶瓷制部件在被插入到所述貫通開口的狀態下與所述配管連結；

保持部件，其與被插入到所述貫通開口的狀態下的所述陶瓷制部件的第一凸緣部抵接并對其進行保持；

第一緊固件，其與所述保持部件連結并且在外周部具有第一螺紋構造；和

第二緊固件，其在呈筒狀的內周面具有與所述第一螺紋構造旋合的第二螺紋構造，用于與所述第一緊固件緊固連結，

其中，以所述保持部件因熱膨脹而伸長的方向和所述第二緊固件因熱膨脹而伸長的方向相互相反的方式連結所述保持部件和所述第一緊固件。

2.如權利要求1所述的氣體導入裝置，其特征在于：

使所述第一緊固件和所述第二緊固件旋合，由此使所述保持部件與所述陶瓷制部件的第一凸緣部卡合而使所述第二凸緣部貼緊在所述板狀部件，將所述陶瓷制部件固定于所述板狀部件。

3.如權利要求1或2所述的氣體導入裝置，其特征在于：

所述保持部件包括多個部件，該多個部件在組合狀態下形成為具有圓筒部分和從該圓筒部分向內側突出的縮徑部分的筒狀體。

4.如權利要求1～3任一項所述的氣體導入裝置，其特征在于：

所述第一緊固件呈環狀，其內徑比所述陶瓷制部件的第一凸緣部的外徑大。

5.如權利要求1～3任一項所述的氣體導入裝置，其特征在于：

構成所述保持部件的材料的線熱膨脹系數比構成所述第二緊固件的材料的線熱膨脹系數大。

6.如權利要求1～5任一項所述的氣體導入裝置，其特征在于：

所述保持部件和所述第一緊固件之間經由第三部件連結。

7.如權利要求1～6任一項所述的氣體導入裝置，其特征在于：

還具有固定在所述板狀部件的所述貫通開口的周圍的襯墊部件，

所述第二緊固件與所述第一緊固件旋合，由此與所述襯墊部件抵接，從該抵接的狀態進一步緊固所述第二緊固件，由此使所述第一緊固件在離開所述板狀部件的方向上移動，而將固定于該第一緊固件的所述保持部件按壓于所述第一凸緣部。

8.如權利要求1～7任一項所述的氣體導入裝置，其特征在于：

所述第二緊固件以從外側覆蓋所述第一緊固件和所述保持部件的方式緊固連結。

9.如權利要求1～8任一項所述的氣體導入裝置，其特征在于：

所述處理裝置為電感耦合等離子體處理裝置。