[發明專利]一種可雙向滑動楔形棱鏡聚焦裝置有效
| 申請號: | 201310478313.3 | 申請日: | 2013-10-14 |
| 公開(公告)號: | CN103488062B | 公開(公告)日: | 2017-04-05 |
| 發明(設計)人: | 王維娟;陳勇;劉寶金 | 申請(專利權)人: | 天津津芯微電子科技有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20;G02B7/18 |
| 代理公司: | 天津市三利專利商標代理有限公司12107 | 代理人: | 閆俊芬 |
| 地址: | 300000 天津市開發區第五大*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 雙向 滑動 楔形 棱鏡 聚焦 裝置 | ||
1.一種可雙向滑動楔形棱鏡聚焦裝置,其特征在于,包括棱鏡、動力結構,所述棱鏡包括楔形上棱鏡和楔形下棱鏡,所述上棱鏡的傾斜面與所述下棱鏡的傾斜面相接觸,所述動力機構與所述上棱鏡和所述下棱鏡相連接,帶動所述上棱鏡和所述下棱鏡沿傾斜面方向上同步相對滑動。
2.根據權利要求1所述的可雙向滑動楔形棱鏡聚焦裝置,其特征在于,所述動力機構包括步進電機、左右旋絲杠,所述步進電機通過聯軸器與所述左右旋絲杠連接,所述左右旋絲杠通過絲杠固定端與絲杠支撐端固定于絲杠安裝底板上;所述上棱鏡固定于上棱鏡安裝架上,其通過所述上棱鏡安裝架與所述上棱鏡安裝板下端固定連接,所述下棱鏡固定于下棱鏡安裝架上,其通過所述下棱鏡安裝架與所述下棱鏡安裝板下端固定連接,所述上棱鏡安裝板上端與上棱鏡交叉滾柱滑軌滑動連接,所述下棱鏡安裝板上端與下棱鏡交叉滾柱滑軌滑動連接;所述左右旋絲杠上設有絲杠螺母,所述上棱鏡安裝板、下棱鏡安裝板分別與所述絲杠螺母固接。
3.根據權利要求2所述的可雙向滑動楔形棱鏡聚焦裝置,其特征在于,所述左右旋絲杠、所述上棱鏡交叉滾柱滑軌、所述下棱鏡交叉滾柱滑軌均為傾斜安裝且傾角均等于所述楔形棱鏡的傾斜角。
4.根據權利要求3所述的可雙向滑動楔形棱鏡聚焦裝置,其特征在于,還包括激光測距器,所述激光測距器通過所述絲杠螺母與所述左右旋絲杠固定連接,所述激光測距器用于實時調焦。
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