[發明專利]砂線切割液的回收方法

無效

• 申請號: 201310477768.3
• 申請日: 2013-10-14
• 公開（公告）號: CN103508592A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 劉耀峰;潘振東
• 申請（專利權）人: 無錫榮能半導體材料有限公司
• 主分類號: C02F9/04
• 分類號: C02F9/04;C10M175/00
• 代理公司: 北京中恒高博知識產權代理有限公司 11249
• 代理人: 高玉濱

技術領域

本發明涉及一種砂線切割液的回收方法，屬于半導體材料切割技術領域。

背景技術

在進行半導體加工的過程中，所使用的砂線切割液的用量非常大，一般砂線切割液里面含有重污染物質，對環境會造成較大的傷害，而直接將用過的砂線切割液排放出去也會造成資源的浪費。

發明內容

本發明的目的是提供一種砂線切割液的回收方法，解決砂線切割液直接排放帶來的污染和浪費的問題。

本發明的目的通過以下技術方案來具體實現：

砂線切割液的回收方法，包括：

第一步，在沉淀池中放置60-120分鐘；

第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出；

第三步，進行紗布過濾，進一步濾除浮在表面的低密度雜質；

第四步，按照體積比100:3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；

第五步，通過致密石墨板進行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進行反沖洗一次，保證過濾效果。

通過上述技術方案回收的砂線切割液，可以進行重復利用，減少水污染的排放，可以將回收液里面的雜質進行收集和儲藏，供二次使用；本砂線切割液的回收方法，可以減少70%的重金屬污染的排放，減少85%的非金屬有害物質的排放。

具體實施方式

本發明實施例一所述的砂線切割液的回收方法，包括：

第一步，在沉淀池中放置60分鐘；

第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出；

第三步，進行紗布過濾，進一步濾除浮在表面的低密度雜質；

第四步，按照體積比100:3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；

第五步，通過致密石墨板進行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進行反沖洗一次，保證過濾效果。

本發明實施例二所述的砂線切割液的回收方法，包括：

第一步，在沉淀池中放置120分鐘；

第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出；

第三步，進行紗布過濾，進一步濾除浮在表面的低密度雜質；

第四步，按照體積比100:3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；

第五步，通過致密石墨板進行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進行反沖洗一次，保證過濾效果。

本發明實施例三所述的砂線切割液的回收方法，包括：

第一步，在沉淀池中放置80分鐘；

第二步，將沉淀池中上部的濾清液通過管路排出；

第三步，進行紗布過濾，進一步濾除浮在表面的低密度雜質；

第四步，按照體積比100:3的比例加入雙氧水，即每100升濾清液中加入3升雙氧水；

第五步，通過致密石墨板進行二次過濾，并且致密石墨板每20分鐘要進行反沖洗一次，保證過濾效果。

通過上述技術方案回收的砂線切割液，可以進行重復利用，減少水污染的排放，可以將回收液里面的雜質進行收集和儲藏，供二次使用；本砂線切割液的回收方法，可以減少70%的重金屬污染的排放，減少85%的非金屬有害物質的排放。