[發明專利]一種高倍聚光光伏系統接收器的保護膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201310477739.7
• 申請日: 2013-10-14
• 公開（公告）號: CN103545384A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 李愿杰;黃添懋
• 申請（專利權）人: 中國東方電氣集團有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/18;C23C16/455
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 張新

1.一種高倍聚光光伏系統接收器的保護膜，其特征在于：所述保護膜為Al₂O₃薄膜，通過原子層沉積技術制備置于接收器外層；接收器由覆銅陶瓷板、太陽能電池、肖特基二極管以及金線等元件組成，所述保護膜包覆所有元件與空氣接觸的外表面。

2.根據權利要求1所述的保護膜，其特征在于：所述Al₂O₃薄膜為均勻致密材料，厚度為30-100nm，厚度均勻性偏差小于3%，臺階覆蓋高寬比超過100：1。

3.根據權利要求1所述的保護膜，其特征在于：所述Al₂O₃薄膜為高透膜，平均透過率超過80%。

4.制備上述保護膜的方法，其特征在于步驟如下：

步驟1：將高倍聚光光伏系統的接收器放置到原子層沉積設備真空腔室中的樣品架上，真空腔室的真空度保持在600-800pa，腔室溫度為室溫；

步驟2：將金屬有機物前驅體三甲基鋁通入真空腔室，金屬有機物在接收器的表面形成吸附，控制吸附反應時間0.1~0.3秒，然后將氮氣通入真空腔室進行吹掃，吹掃時間為1~2秒；

步驟3：通入第二種前驅體水蒸氣，水蒸氣使接收器表面的金屬原子被進一步氧化成Al₂O₃，控制表面氧化反應時間為0.2~0.4秒，然后再用氮氣吹掃真空腔室1~2秒；完成一個原子層薄膜的生長，一個原子層厚度控制在0.1~0.2nm之間；

步驟4：重復步驟2和3，經過多循環的周期沉積生長，在接收器表面形成一層均勻的Al₂O₃薄膜，厚度范圍為30~100nm；

步驟5：在壓強30pa，溫度120℃，Ar氣氣氛下退火20分鐘。