[發明專利]一種從切割硅片的廢砂漿中分離出碳化硅的方法無效
| 申請號: | 201310477683.5 | 申請日: | 2013-10-14 |
| 公開(公告)號: | CN103601190A | 公開(公告)日: | 2014-02-26 |
| 發明(設計)人: | 方漢春;朱榮興 | 申請(專利權)人: | 浙江晶盛硅晶材料有限公司 |
| 主分類號: | C01B31/36 | 分類號: | C01B31/36 |
| 代理公司: | 杭州九洲專利事務所有限公司 33101 | 代理人: | 陳繼亮 |
| 地址: | 324300 浙江省衢*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 切割 硅片 砂漿 分離 碳化硅 方法 | ||
技術領域
本發明涉及一種從切割硅片的廢砂漿中分離出碳化硅的方法。
背景技術
????目前,從切割硅片的廢砂漿中分離出碳化硅的方法是在廢砂漿中加適量的水,攪拌稀釋并加熱后,打入板框壓濾機進行一次固液分離,分離出的濾餅再加適量的水攪拌稀釋后,再次打入板框壓濾機進行二次固液分離,然后將分離出的濾餅加堿反應,經若干次加水清洗過濾后,剩余物則是碳化硅。這種方法的不足之處在于污染重,水資源消耗大。
發明內容
本發明的目的是提供無需加堿反應,可直接分離的一種從切割硅片用廢砂漿中分離出碳化硅的方法。
本發明采取的技術方案是:一種從切割硅片的廢砂漿中分離出碳化硅的方法,其特征在于它包括下列步驟:A、在廢砂漿中加適量的水,攪拌稀釋并加熱后,打入板框壓濾機進行一次固液分離,分離出的固體為濾餅一;B、將濾餅一加適量的水攪拌稀釋后,再次打入板框壓濾機進行二次固液分離,分離出的固體為濾餅二;C、將濾餅二加適量的水攪拌稀釋后,打入若干串聯的水力旋流器中進行多級分離;D、將從水力旋流器的底流口分離出的液體打入板框壓濾機進行三次固液分離,分離出的固體即為碳化硅。
采用本發明,無需加堿發生化學反應,可通過物理方法從切割硅片用廢砂漿中直接分離出碳化硅,無污染,部分濾液可循環使用,有利于節約水資源。
具體實施方式
下面結合具體的實施例對發明作進一步說明。其包括如下步驟:
一、在廢砂漿中加適量的水,攪拌稀釋并加熱至60℃左右,經砂漿泵打入板框壓濾機進行一次固液分離,分離出的固體為濾餅一;
二、將濾餅一加適量的水攪拌稀釋后,再次打入板框壓濾機進行二次固液分離,分離出的固體為濾餅二;
三、將濾餅二加適量的水攪拌稀釋后,打入七個串聯的水力旋流器中進行多級分離;
四、將從第七個水力旋流器中的底流口分離出的物料打入板框壓濾機進行三次固液分離,分離出的固體即為碳化硅。
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