[發明專利]面向MCF裝備真空室的遠程運載機械臂

有效

• 申請號: 201310476371.2
• 申請日: 2013-10-12
• 公開（公告）號: CN103568003A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 曹其新;王鵬飛;白衛邦;顧凱;何明超
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: B25J9/00
• 分類號: B25J9/00;B25J17/02
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

1.一種面向MCF裝備真空室的遠程運載機械臂，其特征在于，主要由一個力矩補償型機械臂關節、多個空間承載型組件化機械臂關節、一個遙操作維護機械臂支座順序連接而成，各個關節之間通過EtherCAT總線實現實時信號傳輸及反饋。

2.根據權利要求1所述的面向MCF裝備真空室的遠程運載機械臂，其特征在于，所述的力矩補償型機械臂關節，包括滑臺基座、承載連接管、滑輪組、牽引繩索、伺服傳動機構、固定承載機構、力矩承載軸承、旋轉輸出機構、諧波減速器，其中，所述承載連接管安裝在所述滑臺基座上，所述伺服傳動機構和力矩承載軸承安裝在所述固定承載機構上，所述伺服傳動機構是所述的力矩補償性機械臂關節的主傳動部分，所述力矩承載軸承與所述旋轉輸出機構同軸，承擔重載彎矩M值，所述固定承載機構通過所述牽引繩索和滑輪組將所述承載連接管遠端進行牽引，減少了所述滑臺基座所承受的彎矩M值，對所述力矩補償型機械臂關節由于所述承載連接管太長而產生的力矩進行補償，所述諧波減速器位于所述伺服傳動機構末端，用于承擔重載扭矩T值。

3.根據權利要求2所述的面向MCF裝備真空室的遠程運載機械臂，其特征在于，所述力矩承載軸承為兩個，安裝于所述的固定承載機構上，與所述的旋轉輸出機構同軸，共同承擔重載彎矩M值。

4.根據權利要求2所述的面向MCF裝備真空室的遠程運載機械臂，其特征在于，所述力矩補償型機械臂關節還包括用于提高補償效果的力矩補償用配重，設置在所述牽引繩索的一端。

5.根據權利要求1所述的面向MCF裝備真空室的遠程運載機械臂，其特征在于，所述遙操作維護機械臂支座的高度可調。