[發(fā)明專(zhuān)利]將四氯化硅氫化成為三氯硅烷的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310474431.7
• 申請(qǐng)日: 2013-10-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103723735A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: W·黑克爾;N·埃林格爾;A·希爾施曼;J·克勒;U·佩措爾德
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 瓦克化學(xué)股份公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B33/107
• 分類(lèi)號(hào): C01B33/107
• 代理公司: 永新專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 李振東;過(guò)曉東

1.用于在反應(yīng)器中使四氯化硅氫化的方法，其中首先利用至少一個(gè)由石墨制成的熱交換器及隨后利用至少一個(gè)由用SiC涂覆的石墨制成的加熱元件將包含氫和四氯化硅的起始反應(yīng)氣體在4至15bar的壓力下加熱至大于900℃的溫度，在此加熱元件的溫度為1150℃至1250℃，其特征在于，所述起始反應(yīng)氣體包含至少一種選自以下組中的硼化合物：乙硼烷、更高級(jí)硼烷、硼-鹵素化合物和硼-甲硅烷基化合物，其中基于起始反應(yīng)氣體流，所有的硼化合物的濃度之和大于1ppmv。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中在所述反應(yīng)器中使用的由石墨制成的逆流熱交換器借助包含三氯硅烷、HCl和未反應(yīng)的起始反應(yīng)氣體的熱的產(chǎn)物氣體加熱所述起始反應(yīng)氣體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1至2之一的方法，其中將硼化合物連同氫一起引入所述反應(yīng)器中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至2之一的方法，其中將硼化合物連同四氯化硅一起引入所述反應(yīng)器中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至2之一的方法，其中將硼化合物連同氫和四氯化硅引入所述反應(yīng)器中。

6.根據(jù)權(quán)利要求3或權(quán)利要求5的方法，其中在氫中所有的硼化合物的濃度為至少4ppmv。

7.根據(jù)權(quán)利要求4或權(quán)利要求5的方法，其中在四氯化硅中所有的硼化合物的濃度為至少4ppmw。