[發明專利]搖擺質量增強壓電體聲波固體波動圓盤微陀螺

有效

• 申請號: 201310473448.0
• 申請日: 2013-10-11
• 公開（公告）號: CN103575262A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 張衛平;張弓;唐健;成宇翔;許仲興;陳文元;汪濙海
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G01C19/5684
• 分類號: G01C19/5684
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

1.一種搖擺質量增強壓電體聲波固體波動圓盤微陀螺，其特征在于包括：

一個壓電圓盤；

一個搖擺質量體，該搖擺質量體固定在所述壓電圓盤中心，搖擺質量體材料為金屬；

四個均勻分布于所述壓電圓盤四周的電極，所述四個電極包括兩個驅動電極和兩個檢測電極，并且驅動電極與檢測電極間隔放置；

一個固定夾緊裝置，該裝置在所述壓電圓盤四周外側均勻間隔處對圓盤進行固定。

2.根據權利要求1所述的搖擺質量增強壓電體聲波固體波動圓盤微陀螺，其特征是：所述微陀螺利用驅動方向上所述壓電圓盤的逆壓電效應進行驅動，利用檢測方向上所述搖擺質量體導致的所述壓電圓盤形變而產生的正壓電效應進行檢測。

3.根據權利要求1所述的搖擺質量增強壓電體聲波固體波動圓盤微陀螺，其特征是：所述兩個驅動電極材料為金屬，對向分布在壓電圓盤上，用于施加交變電壓，驅動陀螺，使壓電圓盤在驅動電極位置上產生垂直圓盤方向上驅動模態的振動。

4.根據權利要求1所述的搖擺質量增強壓電體聲波固體波動圓盤微陀螺，其特征是：所述兩個檢測電極材料為金屬，對向分布在壓電圓盤上，用于檢測在檢測模態下陀螺輸出的信號。

5.根據權利要求1-4任一項所述的搖擺質量增強壓電體聲波固體波動圓盤微陀螺，其特征是：所述四個電極為金屬材料，都是通過電鍍的方式均勻制作在所述壓電圓盤四周上，所述搖擺質量體固定粘合在所述壓電圓盤中心。

6.根據權利要求1-4任一項所述的搖擺質量增強壓電體聲波固體波動圓盤微陀螺，其特征是：所述固定夾緊裝置夾在圓盤外圍四周，固定夾緊裝置的小塊同四個電極均勻間隔放置。

7.根據權利要求1-4任一項所述的搖擺質量增強壓電體聲波固體波動圓盤微陀螺，其特征是所述壓電圓盤上的兩個驅動電極在被施加反相交流電壓并且頻率為特定模態頻率時，由逆壓電效應，使壓電圓盤產生振動，激勵體聲波產生，形成壓電圓盤二波腹面外諧振模態，是為驅動模態振動，而搖擺質量體隨之振動，并增強這種效應；當存在沿搖擺質量體柱形方向的角速度輸入時，由柯氏效應，搖擺質量體在檢測方向上出現振動分量，帶動壓電圓盤在這個方向檢測電極位置上產生面外檢測模態的振動，由正壓電效應，檢測電極上將產生正比于外加角速度大小的電信號，利用檢測電極上檢測的信號即得到外加角速度的檢測。