[發明專利]一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統及方法

有效

• 申請號: 201310473266.3
• 申請日: 2013-10-11
• 公開（公告）號: CN103499309A
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: 賈辛;徐富超;謝偉民;邢廷文
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 楊學明;顧煒

1.一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統，其特征在于，包括：獨立地基（1）、第一振動測量探頭（2）、主動隔振系統（3）、大理石平臺（4）、第二振動測量探頭（5）、調整架（6）、第三振動測量探頭（7）、轉臺（8）、待測鏡架（9）、第四振動測量探頭（10）、第一導軌（11）、第二導軌（12）、干涉儀衍架（13）、溫度測量探頭（14）、外殼（15）、干涉儀測量頭（16）、第五振動測量頭（17）和計算機（18）；其中：獨立地基（1）上放置主動隔振系統（3）和第一振動測量探頭（2）；主動隔振系統（3）上放置大理石平臺（4），大理石平臺（4）上面放置調整架（6），第二振動測量探頭（5）放置在大理石平臺（4）側面；調整架（6）上方放置轉臺（8），第三振動測量探頭（7）放置在大理石平臺（4）臺面上；待測鏡架（9）放置在轉臺（8）上，第四振動測量探頭（10）放置在待測鏡架（9）邊上，干涉儀衍架（13）固定在大理石平臺（4）上，第一導軌（11）固定在干涉儀衍架（13）一側，第二導軌（12）固定在第一導軌（11）上，溫度測量探頭（14）固定在第二導軌（12）上，外殼（15）固定在大理石平臺（4）上，干涉儀測量頭（16）固定在干涉儀衍架（13）上，第五振動測量探頭（17）固定在干涉儀測量頭（16）邊上，計算機（18）與主動隔振系統（3）、第一振動測量探頭（2）、第二振動測量探頭（5）、第三振動測量探頭（7）、第四振動測量探頭（10）、第五振動測量探頭（17）、溫度測量探頭（14）、調整架（6）、轉臺（8）、第一導軌（11）、第二導軌（12）、干涉儀測量頭（16）相連；

獨立地基（1）：用于隔離地面振動；

第一振動測量探頭（2）：用于測量地面垂直振動；

主動隔振系統（3）：用于進一步隔離地面振動；

大理石平臺（4）：用于放置各種測量設備及配件；

第二振動測量探頭（5）：用于測量大理石平臺水平振動；

調整架（6）：用于調整待測鏡架（9）的狀態；

第三振動測量探頭（7）：用于測量大理石平臺臺面垂直振動；

轉臺（8）：用于轉動待測鏡架（9）；

待測鏡架（9）：用于放置待測鏡；

第四振動測量探頭（10）：用于測量待測鏡架上的垂直振動；

第一導軌（11）：用于控制溫度測量探頭（14）的垂直方向移動；

第二導軌（12）:固定在第一導軌（11）上，用于控制溫度測量探頭（14）的水平方向移動；

干涉儀衍架（13），用于固定干涉儀測量頭（16）和第一導軌（11）；

溫度測量探頭（14），用于測量干涉儀測量頭（16）和待測鏡架（9）之間的溫度變化；

外殼（15）：用于保持殼內的溫度和氣流的穩定；

干涉儀測量頭（16），用于干涉測量待測鏡面形；

第五振動測量探頭（17），用于測量干涉儀測量頭（16）上的垂直振動；

計算機（18）：與主動隔振系統（3）、第一振動測量探頭（2）、第二振動測量探頭（5）、第三振動測量探頭（7）、第四振動測量探頭（10）、第五振動測量探頭（17）、溫度測量探頭（14）、調整架（6）、轉臺（8）、第一導軌（11）、第二導軌（12）相連，控制這些設備的運動或進行數據傳輸。

2.根據權利要求1所述一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統，其特征在于：所述第一振動測量探頭（2）、所述第二振動測量探頭（5）、所述第三振動測量探頭（7）、所述第四振動測量探頭（10）和第五振動測量探頭（17）均為加速度計或位移計，并均通過計算機（18）進行數據輸出。

3.根據權利要求1所述一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統，其特征在于：所述第四振動測量探頭（10）為加速度計或位移計，或激光干涉測量探頭，并通過計算機（18）進行數據輸出。

4.根據權利要求1所述一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統，其特征在于：所述第一導軌（11）固定在干涉儀衍架（13）上、第二導軌（12）固定在第一導軌（11）上，第一導軌、第二導軌通過計算機控制溫度測量探頭的垂直和水平運動，第一導軌（11）采用機械導軌或氣吸浮導軌，第二導軌（12）可以伸縮。

5.根據權利要求1所述一種帶有環境反饋的自動干涉檢測系統，其特征在于：所述溫度測量探頭（14）采用溫度傳感器。