[發(fā)明專利]剝離干燥裝置及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310473237.7
• 申請(qǐng)日: 2013-10-11
• 公開（公告）號(hào): CN103730332B
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史蒂芬·M·薩拉德;戴恩·海姆斯;艾倫·M·斯科普;拉莎娜·莉瑪麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所31263
• 代理人: 李獻(xiàn)忠

1.一種用于使襯底剝離干燥的裝置，其包括：

室，其用于接收襯底；

卡盤，其用于在所述室內(nèi)支承和夾持所述襯底；

溫度控制器，其用于控制所述襯底的溫度，所述溫度控制器能夠冷卻所述襯底；

真空泵，其與所述室流體連通；以及

傾斜機(jī)構(gòu)，其能夠使所述卡盤傾斜至少90度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其還包括用于使受控的氣氛流動(dòng)至所述室的與所述室流體連通的氣氛控制系統(tǒng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其中，所述氣氛控制系統(tǒng)包括用于將干燥氣體提供到所述室中的氣體源。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任何一項(xiàng)所述的裝置，其中，所述卡盤是靜電卡盤。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其還包括用于提供夾持所述襯底至所述靜電卡盤的電壓的電壓源。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其還包括用于傳輸帶有濕的去濕化學(xué)物的襯底進(jìn)入所述室并密封所述室的濕傳輸站，其中所述溫度控制器能夠冷卻所述襯底到凍結(jié)所述去濕化學(xué)物的溫度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述卡盤包括槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述溫度控制器包括嵌入所述卡盤的溫度控制元件。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中，所述溫度控制元件能將所述襯底冷卻到至少0℃的溫度并能將所述襯底加熱到至少20℃的溫度。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中，所述溫度控制元件包括嵌入所述卡盤的熱電加熱和冷卻元件。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述傾斜機(jī)構(gòu)使所述卡盤相對(duì)于所述室傾斜。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其進(jìn)一步包括放置在所述卡盤下方的固態(tài)去濕化學(xué)物去除系統(tǒng)。

13.一種用于使襯底剝離干燥的方法，其包括：

將襯底放置在干燥室中的卡盤上，所述襯底用去濕化學(xué)物浸潤；

在所襯底上將所述去濕化學(xué)物凍結(jié)成固態(tài)去濕化學(xué)物；

從所述襯底剝離所述固態(tài)去濕化學(xué)物；以及

從所述襯底去除所剝離的所述固態(tài)去濕化學(xué)物，其中所述從所述襯底去除所述固態(tài)去濕化學(xué)物包括將所述襯底傾斜至少90度。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中，所述從所述襯底剝離所述固態(tài)去濕化學(xué)物包括降低所述干燥室中的壓強(qiáng)。

15.根據(jù)權(quán)利要求13-14中任何一項(xiàng)所述的方法，其中，所述將所述去濕化學(xué)物凍結(jié)包括：

將所述襯底夾持到所述卡盤；以及

使用所述卡盤來背部冷卻所述襯底至低于所述去濕化學(xué)物的凝固點(diǎn)，以凍結(jié)所述去濕化學(xué)物。

16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其還包括：

在所述襯底上形成特征；以及

濕法處理所述襯底上的所述特征。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述去濕化學(xué)物包括叔丁醇。

18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其還包括從在所述干燥室中的氣氛中去除濕氣。

19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其還包括在將所述襯底放置在所述卡盤上之前，加熱所述卡盤至高于所述去濕化學(xué)物的凝固點(diǎn)的溫度。

20.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其進(jìn)一步包括捕捉從所述卡盤上的所述襯底流下的液態(tài)去濕化學(xué)物，并從所述襯底和所述卡盤之間的接觸點(diǎn)引導(dǎo)所述液態(tài)去濕化學(xué)物。