[發(fā)明專利]具有微機械麥克風結構的器件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310472910.5
• 申請日: 2013-10-11
• 公開（公告）號: CN103731783B
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發(fā)明（設計）人: J·策爾林;R·艾倫普福特;J·格拉夫;C·謝林;F·安特;M·庫爾契奇
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種具有微機械麥克風結構的器件(10)，所述微機械麥克風結構以層結構實現(xiàn)，所述器件至少包括：

·聲壓敏感的膜片結構(3)，所述膜片結構能夠基本上垂直于所述層結構的層平面偏轉(zhuǎn)，

·聲學穿透的對應元件(5)，所述對應元件具有通孔(6)，所述對應元件以層結構構造在所述膜片結構(3)的上方或下方，

·用于檢測所述膜片結構(3)的偏轉(zhuǎn)的電容器裝置，

其中，所述膜片結構(3)包括至少一個基本上垂直地從膜片平面伸出的結構元件(31)，所述結構元件根據(jù)膜片結構(3)的偏轉(zhuǎn)程度或多或少地伸入所述對應元件(5)的相應成形和設置的通孔(6)中，并且所述至少一個結構元件(31)設置在所述膜片結構(3)的中間區(qū)域中，其中所述膜片結構(3)通過彈性元件(4)連接到所述對應元件(5)上。

2.根據(jù)權利要求1所述的器件(10)，其特征在于，所述膜片結構(3)包括梳結構(31)，所述梳結構根據(jù)膜片結構(3)的偏轉(zhuǎn)程度或多或少地伸入所述對應元件(5)的相應成形和設置的通孔(6)中。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的器件(20)，其特征在于，所述麥克風結構包括兩個聲學穿透的對應元件(51，52)，它們具有通孔(6)，所述膜片結構(23)夾心式地設置在兩個對應元件(51，52)之間，并且所述膜片結構(23)在兩側(cè)設有垂直于所述層平面取向的結構元件(231)，所述結構元件根據(jù)所述膜片結構(23)的偏轉(zhuǎn)程度或多或少地伸入所述對應元件(51，52)的相應成形和設置的通孔(6)中。

4.根據(jù)權利要求1至3之一所述的器件(20)，其特征在于，所述電容器裝置包括至少一個固定電極和至少一個可偏轉(zhuǎn)電極，其中，所述至少一個對應元件(5)充當所述至少一個固定電極的支承裝置而所述膜片結構(3)充當所述至少一個可偏轉(zhuǎn)電極的支承裝置，使得在所述膜片結構(3)的偏轉(zhuǎn)時電容器裝置的電極間距變化。

5.根據(jù)權利要求1至4之一所述的器件(20)，其特征在于，所述膜片結構(3)和尤其所述至少一個從所述膜片平面伸出的結構元件(31)至少部分地由介電材料構成或以介電材料涂覆，并且在從所述膜片平面伸出的結構元件(31)由于所述膜片結構(3)的偏轉(zhuǎn)侵入所述對應元件的平面中時至少一個對應元件(5)上的電容器裝置的兩個彼此電分離的電極(71，72)之間的電極間隙的電特性變化。

6.根據(jù)權利要求1至5之一所述的器件(20)，其特征在于，所述膜片結構(3)通過彈簧懸掛接合到所述層結構中。

7.根據(jù)權利要求1至6之一所述的器件(20)，其特征在于，所述膜片結構的中間區(qū)域是經(jīng)加強的。

8.根據(jù)權利要求1至7之一所述的器件(20)，其特征在于，所述膜片結構至少在其中部區(qū)域中是經(jīng)穿孔的。

9.根據(jù)權利要求1至8之一所述的器件(20)，其特征在于，設有用于所述膜片結構的過載保護，尤其以所述膜片結構上的止擋元件的形式。