[發(fā)明專利]一種高純氨低溫往復泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310472065.1
• 申請日: 2013-10-11
• 公開（公告）號: CN103485995A
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發(fā)明（設計）人: 彭天照;吳波
• 申請（專利權）人: 湖州三井低溫設備有限公司
• 主分類號: F04B15/08
• 分類號: F04B15/08;F04B53/10;F04B53/00
• 代理公司: 湖州金衛(wèi)知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 33232
• 代理人: 裴金華

技術領域

本發(fā)明涉及低溫往復泵，具體為一種電子、化工、冶金、鋼鐵等行業(yè)需要電子級高純氨生產(chǎn)、科研中所需的無污染高純氨輸送的低溫往復泵。

背景技術

目前在電子、化工、冶金、鋼鐵等行業(yè)，特別是在電子LED、光伏太陽能領域，需要大量高純氨氣來提供氮的來源，純度要求在7N即99.99999%以上。市場上的常規(guī)氨泵均以普通氨水為輸送介質(zhì)，對輸送氨水的污染不作要求，而介質(zhì)在輸送過程中由于氨泵內(nèi)部的不清潔經(jīng)常業(yè)經(jīng)常造成氨水的污染，不能滿足電子級高純氨的輸送、增壓要求。如果用于高純氨的輸送，則需在安裝完成后對機組進行清洗，知道清潔度滿足系統(tǒng)要求，浪費了大量的沖洗時間，并造成介質(zhì)的浪費。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種能滿足電子級高純氨輸送、增壓要求的高純氨低溫往復泵。

本發(fā)明的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現(xiàn)的：一種高純氨低溫往復泵，包括泵體，所述泵體內(nèi)具有內(nèi)缸，內(nèi)缸連通有進口和回氣口，所述內(nèi)缸一端設有進液閥，另一端設有與所述進液閥相對的出液閥，泵體內(nèi)靠進液閥一側(cè)還設有活塞桿，所述泵體圍繞活塞桿的內(nèi)壁設有密封組件，所述泵體位于出液閥一側(cè)安裝有出液法蘭，所述出液法蘭連接有出液接管，所述出液法蘭和所述出液接管連接位置外部通過外套螺母固定連接，所述泵體靠內(nèi)缸一側(cè)外殼上還設有真空保護閥。????????

??電子級高純氨往復泵關鍵在于過流部件清潔無污染、生產(chǎn)制作完成后殘留雜質(zhì)少。通過對各過流部件采用型材加工或焊接完成，避免了采用鑄件帶來的鑄件夾渣、疏松等缺陷帶來的雜質(zhì)殘留。所有零件介質(zhì)接觸表面加工后表面光潔度達到Ra0.8，再利用化學拋光工藝，使其表面光潔度達到Ra0.2,通過超聲波脫脂、純凈水后，進行真空包裝，保證了各零件的清潔度，密封材料不應采用含銅材料，防止帶來含銅材料的化學腐蝕，裝配時在無塵、清潔裝配間完成，裝配完成后真空包裝，避免二次污染。上述技術方案中，活塞桿抽出時，進液閥打開，在管路壓力作用下，出液閥關閉，泵吸入液體；吸入完成后，活塞桿推入時，在液體壓縮增壓條件下，進液閥關閉，出液閥打開，液體進入管路,泵的一次工作循環(huán)完成；在泵體內(nèi)壓力和密封組件作用下，密封組件緊貼活塞桿，實現(xiàn)活塞密封，保證了密封的可靠性，封組件可采用復合密封組件，前段對低溫液體，中部設有儲氣腔，對前段液體形成氣封，后段對儲氣腔氣體進行密封。回氣口位置應該設置高于進口位置，可以使得內(nèi)部氣體排出充分，避免了因氣體死角造成機組吸入時吸入部分氣體而導致流量偏小。

作為對本發(fā)明的優(yōu)選，真空保護閥包括真空閥體，所述真空閥體具有圓柱形的連接外壁，沿著所述連接外壁套接有真空套，所述真空套上開有大氣通孔，所述真空閥體沿著所述連接外壁外周設有用于限制所述真空套位置的限位臺，所述真空閥體與所述真空套連通處設有真空塞，所述真空塞包括可活動于所述真空閥體內(nèi)的密封塞柱以及與所述密封塞柱一體連接可活動于所述真空套內(nèi)的密封塞盤，所述密封塞柱上設有環(huán)形的凹陷密封槽，所述凹陷密封槽與所述真空閥體之間設有內(nèi)密封圈，所述密封塞盤、所述真空閥體的端部以及所述真空套內(nèi)壁三者之間圍成的區(qū)域內(nèi)設有外密封圈，內(nèi)密封圈和外密封圈均為O型密封圈，大氣通孔在真空套上位于同一水平位置且呈對稱狀分布。該優(yōu)選抽取真空時，真空閥體連接真空腔，內(nèi)壓力P2為負壓，真空套設有大氣通孔與大氣接通，其壓力P1等于大氣壓力，P1＞P2，在壓力差作用下，真空塞與真空閥體貼緊，外密封圈壓縮，實現(xiàn)端面密封，另外加上內(nèi)密封圈密封，確保了密封的可靠性。當真空腔內(nèi)由于內(nèi)部腔體介質(zhì)泄露，壓力升高時，至P2≥P1時，作用于真空塞的壓力差消失，密封圈密封壓縮量消失，密封失效，腔內(nèi)壓力釋放，保護真空殼體，提高了設備的安全性，避免了殼體繼續(xù)增壓，出現(xiàn)爆裂事故，有效提高真空密封和真空超壓保護的穩(wěn)定性。

作為對本發(fā)明的優(yōu)選，密封塞柱上設有三道豎直方向平行排列的凹陷密封槽，相鄰凹陷密封槽之間的垂直距離均相等。提高結構的穩(wěn)定性、密封的可靠性和超壓保護的安全性。