[發(fā)明專利]一種大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310470645.7
• 申請(qǐng)日: 2013-10-10
• 公開（公告）號(hào): CN103499877A
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧超;邢廷文;廖志遠(yuǎn);朱紅偉;楊雄;白瑜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G02B17/08
• 分類號(hào): G02B17/08;G03F7/20
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251
• 代理人: 楊學(xué)明;顧煒

1.一種大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，用于將位于物平面的圖案投影到像平面上，所述大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)包括第一透鏡組（G1）、第二透鏡組（G2）、第三反射鏡組（G3）、第四透鏡組（G4）和第五透鏡組（G5），其特征在于：從光束入射方向的第一透鏡組（G1）沒有光焦度，第二透鏡組（G2）具有正光焦度，第三反射鏡組（G3）具有負(fù)光焦度，第四透鏡組（G4）具有正光焦度，第五透鏡組（G5）具有正光焦度，所述大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)包含了25片透鏡和兩片反射鏡，且包含有非球面表面。

2.如權(quán)利要求1所述的大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述的第一透鏡組（G1）為一塊平行平板。

3.如權(quán)利要求1所述的大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述的第二透鏡組（G2）包括第一雙凸正透鏡（2）、第一彎月負(fù)透鏡（3）、第二雙凸正透鏡（4）、第二彎月負(fù)透鏡（5）、第三雙凸正透鏡（6）、第一彎月正透鏡（7）、第二彎月正透鏡（8）、第三彎月正透鏡（9）、第四彎月正透鏡（10）和第三彎月負(fù)透鏡（11）。

4.如權(quán)利要求1所述的大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述的第三反射鏡組（G3）包括第一反射鏡（12）、第二反射鏡（13）兩個(gè)凹面反射鏡。

5.如權(quán)利要求1所述的大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述的第四反射鏡組（G4）包括第四雙凸正透鏡（14）、第四彎月負(fù)透鏡（15）、第一雙凹負(fù)透鏡（16）、第五彎月負(fù)透鏡（17）、第五彎月正透鏡（18）、第六彎月正透鏡（19）、第七彎月正透鏡（20）、第八彎月正透鏡（21）和第六彎月負(fù)透鏡（22）。

6.如權(quán)利要求1所述的大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述的第五反射鏡組（G5）包括第五雙凸正透鏡（23）、第九彎月正透鏡（24）、第十彎月正透鏡（25）、第十一彎月正透鏡（26）和第一平凸正透鏡（27）。

7.如權(quán)利要求1所述的大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述的第四反射鏡組（G4）和第五反射鏡組（G5）之間設(shè)置有一孔徑光闌。

8.如權(quán)利要求1所述的大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：第一透鏡組（G1）、第二透鏡組（G2）、第四透鏡組（G4）和第五透鏡組（G5）均采用SIO₂玻璃。

9.如權(quán)利要求1所述的大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述大數(shù)值孔徑投影光學(xué)系統(tǒng)為雙遠(yuǎn)心系統(tǒng)。

10.如權(quán)利要求1所述的大數(shù)值孔徑的投影光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述的大數(shù)值孔徑投影光學(xué)系統(tǒng)適用于深紫外照明光源，波長(zhǎng)為157nm、193.3nm或248nm的光源。