[發(fā)明專利]一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310470610.3
• 申請日: 2013-10-09
• 公開（公告）號: CN103628140A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫國勝;董林;王雷;趙萬順;劉興昉;閆果果;鄭柳
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市天域半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: C30B29/36
• 分類號: C30B29/36;C30B25/08
• 代理公司: 廣州市南鋒專利事務(wù)所有限公司 44228
• 代理人: 羅曉聰

1.一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其包括有一雙層石英管嵌套結(jié)構(gòu)，該雙層石英管嵌套結(jié)構(gòu)包括：一外層石英管及內(nèi)嵌于外層石英管中的內(nèi)層石英管，其中，該內(nèi)、外層石英管之間形成一環(huán)形空腔，其特征在于：所述的雙層石英管嵌套結(jié)構(gòu)兩端分別通過一不銹鋼密封組件固定裝配，令內(nèi)、外層石英管之間相互隔絕；所述不銹鋼密封組件包括：用于密封所述外層石英管的第一不銹鋼法蘭盤和第一不銹鋼緊固圓環(huán)以及用于密封內(nèi)層石英管的第二不銹鋼法蘭盤和第二不銹鋼緊固圓環(huán)，該第二不銹鋼法蘭盤外側(cè)以可拆裝的方式緊密安裝有一用于打開或閉合所述內(nèi)層石英管的內(nèi)腔的不銹鋼蓋；所述的不銹鋼密封組件中設(shè)置有至少一個連通所述環(huán)形空腔的水冷端口；所述第二不銹鋼法蘭盤的內(nèi)壁與內(nèi)層石英管外壁之間形成有泄露水汽真空隔離區(qū)，該第二不銹鋼法蘭盤上設(shè)置有至少一個與該泄露水汽真空隔離區(qū)連通的抽氣管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一不銹鋼法蘭盤中開設(shè)有用于裝配的第一通孔，該第一通孔包括：與所述外層石英管端部配合的第一安裝位以及與第二不銹鋼法蘭盤配合并供所述內(nèi)層石英管穿過的第二安裝位，該第一安裝位與所述的環(huán)形空腔連通，且該第一安裝位的前端面及第二安裝位的后端面處分別形成有用于安裝密封件的第一倒角和第二倒角。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一不銹鋼法蘭盤的上端設(shè)置有至少一個連通所述第一安裝位的水冷端口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的第一不銹鋼緊固圓環(huán)緊密固定于所述第一不銹鋼法蘭盤中第一安裝位的前端面；所述的外層石英管鑲嵌于第一不銹鋼法蘭盤的第一安裝位中，所述的第一不銹鋼緊固圓環(huán)與第一不銹鋼法蘭盤上第一安裝位端口的第一倒角之間設(shè)置有第一密封圈，令外層石英管的端部密封安裝于第一不銹鋼法蘭盤中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的第二不銹鋼法蘭盤安裝于第一不銹鋼法蘭盤的后端，并與第一不銹鋼法蘭盤上第二安裝位端口的第二倒角之間設(shè)置有第二密封圈，令第二不銹鋼法蘭盤與第一不銹鋼法蘭盤形成緊密裝配。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的第二不銹鋼法蘭盤中心位置開設(shè)有第二通孔，該第二通孔包括：與所述內(nèi)層石英管端部配合的第三安裝位以及與第三安裝位連通的容腔，其中該第三安裝位相對安裝有第一不銹鋼法蘭盤的另一端設(shè)置有用于安裝密封件的第三倒角。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的第二不銹鋼緊固圓環(huán)固定于第二不銹鋼法蘭盤中容腔的底部；所述的內(nèi)層石英管鑲嵌于第二不銹鋼法蘭盤的第三安裝位中，并伸進(jìn)第二不銹鋼法蘭盤中的容腔中，且第二不銹鋼緊固圓環(huán)與第二不銹鋼法蘭盤中第三倒角之間設(shè)置有第三密封圈。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的第二不銹鋼法蘭盤下端設(shè)有用以維持內(nèi)層石英管內(nèi)部腔室真空度的抽氣口，該抽氣口與第二不銹鋼法蘭盤中的容腔連通。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任意一項所述的一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的第二不銹鋼法蘭盤與不銹鋼蓋之間設(shè)置有密封墊圈。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-8任意一項所述的一種超高溫雙層水冷石英管真空室用雙密封結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的不銹鋼密封組件設(shè)有水冷結(jié)構(gòu)。