[發明專利]閘閥及腔室

有效

• 申請號: 201310470126.0
• 申請日: 2013-10-10
• 公開（公告）號: CN104235402B
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 齊藤達雄;黑崎裕行
• 申請（專利權）人: 入江工研株式會社
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02;F16K3/30
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 金光軍,邱玲

技術領域

本發明涉及一種閘閥及具備該閘閥的腔室，尤其涉及一種用于減少閘閥進行動作時產生的微粒和放出氣體的改進的結構。

背景技術

近年來，從所謂的半導體處理規則的細微化、有機EL顯示器等的高精度化的現實情況出發，在其制造裝置中減少微粒和放出氣體的要求變得越來越嚴格。而且，伴隨著這種情況，在制造裝置中使用的閘閥也被要求低微粒化和低放出氣體化。

以往，作為在這種制造裝置中使用的閘閥的示例，已知有在下述的專利文獻1中公開的閘閥。該閘閥形成有在閥限位器的端部呈倒U字狀的彎曲部分，在閥座壁形成有嵌合在該彎曲部分的前端中的凹部。由此，當將閥板按壓在閥座上時，倒U字狀的彎曲部分被收容在凹部中，閥限位器能夠阻止向離開閥座的方向移動。

在這樣的閘閥中，例如在設置在閥板上的密封件和閥座的接觸部分、或在倒U字狀的彎曲部分和凹部的接觸部分，通過接觸時的摩擦會產生微粒，這成為產生放出氣體的主要原因。特別是，在專利文獻1的閘閥中，由于作為將閥板壓在閥座上的機構使用有銷槽和球體、或連桿等，因此密封件接合在閥座上時的軌道為圓形軌道，且與其軌道相應地密封件與閥座剮蹭而易于產生微粒。并且，即使在倒U字狀的彎曲部分和凹部的接觸部分中，通過相同的軌道，金屬之間也會摩擦而產生微粒。并且，在上述機構和滾珠軸承或滾軸、或者連桿機構等中使用有潤滑用的潤滑脂，也成為產生放出氣體的原因。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第3388439號公報

發明內容

技術問題

本發明正是為了解決以上問題所做出的，其目的在于提供一種能夠大幅度降低閥進行動作時產生的微粒和放出的氣體的閘閥和具備該閘閥的腔室。

技術方案

為了達到上述目的，根據本發明的閘閥，其特征在于，在通過在面對面的密封板和背板之間內置的直動式驅動器使密封單元進行動作而對開口部進行開閉的閘閥中，當受到所述密封板被按壓到所述開口部的密封面上時的反作用力，使得設置在所述背板的上部的緩沖部件與設置在腔室中的上部止動件接合時，或者，使得所述背板的上部與在設置于腔室中的上部止動件中設置的緩沖部件接合時，與所述背板連接的閥桿彈性形變為弓狀。

并且，在由所述結構構成的閘閥中，也可以在所述背板的下部設置有向所述開口部方向延伸的下部止動件，通過在所述密封面的密封法蘭下部形成的凸部通過緩沖部件嵌合在所述下部止動件中形成的凹部或孔中，或者，通過所述下部止動件中形成的凸部通過緩沖部件嵌合在所述密封面的密封法蘭下部形成的凹部或孔中，從而承受所述密封板被按壓到所述密封面上時的反作用力。

并且，在由所述結構構成的閘閥中，也可以將所述下部止動件設置為：固定在所述閥桿上且能夠從所述背板分離。

并且，在由所述結構構成的閘閥中，也可以是所述密封單元包括：開閉氣缸，具備通過空氣壓的供給和排放伸縮的活塞；背板，固定有所述開閉氣缸且具備傳遞打開動作壓力和關閉動作壓力的供給排出通道；密封板，與所述活塞的桿部結合；并且具備波紋管保護結構：在所述開閉氣缸上設置止逆閥，當在覆蓋所述桿部的波紋管中施加的內壓超過基準壓力時，通過所述止逆閥將該內壓排出到所述密封單元的外部。

并且，在由所述結構構成的閘閥中，也可以還包含通過所述閥桿將所述密封單元移動到所述密封面的引導裝置，所述引導裝置通過同一支柱構成引導所述閥桿的升降動作的引導機構以及支撐所述引導機構的支撐機構，并且該支柱為圓柱形狀。

并且，根據本發明的腔室，其特征在于是安裝了以上述任意結構構成的閘閥的腔室，在該腔室中設置有用于將所述閘閥中的密封單元取出的維修孔。

并且，在由所述結構構成的腔室中，可以是堵塞所述維修孔的孔蓋兼具有與所述背板接合的上部止動件的功能。

發明效果

根據本發明，通過直動式驅動器驅動密封板，當將密封板按壓在密封面上時，背板的上部和上部止動件通過緩沖部件而接合，由此減輕表面壓力和接合時的沖擊力。并且，當密封時的反作用力使背板向非密封方向后退時，通過閥桿彈性形變為弓狀，其速度降低，因此緩和接合時的沖擊力。因此，能夠抑制背板和上部止動件的接合部分的損傷，并能夠防止微粒及放出氣體的產生。并且，由于通過組合直動式驅動器和緩沖部件使密封件不摩擦密封面，因此能夠防止摩擦引起的微粒和放出氣體的產生。

附圖說明

圖1是表示本發明的閘閥的一個示例的截面圖。