[發(fā)明專利]處理液供給方法、處理液供給裝置和存儲介質(zhì)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310467501.6
• 申請日: 2013-10-09
• 公開（公告）號: CN103706523A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吉田勇一;內(nèi)藤亮一郎;古莊智伸
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C5/02;H01L21/027
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在使處理液經(jīng)由過濾器部從噴嘴排出的處理液供給裝置中除去過濾器部內(nèi)的氣泡的技術(shù)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造工序中，從噴嘴對基板供給抗蝕劑液、酸或堿的清洗液、溶劑、絕緣膜形成用的前驅(qū)體含有液等藥液來進行液處理。這樣的藥液供給裝置通過在供給路徑內(nèi)配置過濾器部來除去異物。專利文獻1中公開有作為這種藥液供給裝置的抗蝕劑涂敷裝置。

在這些工序中，有時由于抗蝕劑、藥液中的溶解氣體而出現(xiàn)氣泡，但隨著圖案（pattern）的線寬的細微化的不斷推進，對以往不構(gòu)成問題的細微的氣泡，也迫于需要注意應(yīng)對。

然而，在這些涂敷處理液的裝置中，新安裝有處理液中的異物除去用的過濾器部時（包括裝置的啟動時和更換過濾器部兩種情況），進行通過使處理液流過所安裝的過濾器部而除去過濾器部內(nèi)的氣體的工序（以下稱為“過濾器潤濕”）（專利文獻2）。作為現(xiàn)有的過濾器潤濕的方法，在設(shè)置過濾器部之后，使用N₂氣體或泵的壓力進行基于正壓（大氣壓以上的壓力）的過濾，并且監(jiān)控由氣泡引起的晶片上的缺陷的數(shù)量。而且，在缺陷數(shù)量減少到一定水平的時刻，視為過濾器部內(nèi)的氣體已被除去，工序結(jié)束。

但是，從批量生產(chǎn)成本的觀點出發(fā)，要求削減過濾器部啟動之前消耗的處理液并且需求縮短啟動時間。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特許第3461725號公報

專利文獻2：日本特開平04-196517號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明想要解決的問題

本發(fā)明是鑒于這樣的情況而完成的，其目的在于提供一種在處理液供給路徑安裝有新的過濾器部時，實現(xiàn)了為了從過濾器部除去氣泡而消耗的藥液的削減和啟動時間的縮短的技術(shù)。

用于解決課題的技術(shù)方案

本發(fā)明的處理液供給方法，其特征在于，包括：

將處理液充滿在新的過濾器部內(nèi)的工序；

接著，為了從上述過濾器部除去氣泡而使該過濾器部內(nèi)為作為負壓氣氛的第一壓力氣氛的工序；

然后，使上述過濾器部內(nèi)從上述第一壓力氣氛升壓使得該過濾器部內(nèi)為目標壓力氣氛的工序；

然后，在使上述過濾器部的二次側(cè)為比上述第一壓力氣氛高的第二壓力氣氛的狀態(tài)下，從上述過濾器部的一次側(cè)使處理液通過上述過濾器部的工序；和

將通過了上述過濾器部的處理液經(jīng)由噴嘴供給到被處理體而進行液處理的工序。

本發(fā)明的另一方面是一種處理液供給裝置，其特征在于：

上述處理液供給裝置從上游側(cè)開始依次設(shè)置有處理液供給源、過濾器部和噴嘴，用于從噴嘴對被處理體供給處理液進行液處理，

上述處理液供給裝置具備：

分別在上述過濾器部的一次側(cè)、二次側(cè)和排放口設(shè)置的一次側(cè)閥、二次側(cè)閥和排放閥；

用于對上述過濾器部內(nèi)進行減壓的減壓部；和

控制上述閥和減壓部的控制部，

上述控制部具備執(zhí)行以下步驟的程序，即：

從上述一次側(cè)供給處理液使過濾器部內(nèi)充滿處理液的步驟；

使上述一次側(cè)閥、二次側(cè)閥和排放閥之中至少一個為關(guān)閉狀態(tài)，使其它的閥為打開狀態(tài)，利用上述加壓部使該過濾器部內(nèi)為作為負壓氣氛的第一壓力氣氛的步驟；

然后，使上述成為關(guān)閉狀態(tài)的閥開放，使該過濾器部內(nèi)從上述第一壓力氣氛開始升壓，使得上述過濾器部內(nèi)成為目標壓力氣氛的步驟；和

然后，在使上述過濾器部的二次側(cè)成為比上述第一壓力氣氛高的第二壓力氣氛的狀態(tài)下，從上述過濾器部的一次側(cè)使處理液通過上述過濾器部，經(jīng)由上述噴嘴供給至被處理體進行液處理的步驟。

本發(fā)明的另一方面是一種存儲用于處理液供給裝置的計算機程序的存儲介質(zhì)，該處理液供給裝置從上游側(cè)依次設(shè)置有處理液供給源、過濾器部和噴嘴，用于從噴嘴對被處理體供給處理液進行液處理，上述存儲介質(zhì)的特征在于：

上述計算機程序編有步驟組以實施本發(fā)明的處理液供給方法的方式。

發(fā)明的效果

本發(fā)明中，在處理液供給路徑上安裝有新過濾部時，在過濾部形成作為負壓的壓力氣氛，該壓力氣氛比將處理液通過過濾部供給至被處理體的處理時的壓力狀態(tài)低。因此，能夠快速地除去過濾部內(nèi)的氣泡，并且能夠減少殘留的氣泡，所以能夠?qū)崿F(xiàn)從利用處理液浸漬過濾部至實際的運轉(zhuǎn)所需求的、起動時間的縮短和處理液消耗量的降低。此外，安裝有新過濾部包括裝置啟動時的安裝和過濾部的更換的安裝這兩者。

附圖說明