[發明專利]溝槽對稱度測量裝置及測量方法

有效

• 申請號: 201310467260.5
• 申請日: 2013-10-10
• 公開（公告）號: CN103512544A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 劉軍;劉建明
• 申請（專利權）人: 東方電氣集團東方電機有限公司
• 主分類號: G01B21/24
• 分類號: G01B21/24
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 錢成岑;詹永斌

1.一種溝槽對稱度測量裝置，其特征在于：包括主體架（11）、旋轉機構（12）、測量組件和電感測微儀；所述旋轉機構（12）設置于主體架（11）頂部，所述測量組件通過旋轉機構（12）設置于主體架（11）中部，且測量組件能隨旋轉機構（12）繞軸心旋轉，所述主體架（11）的一側面設置有定位機構；所述電感測微儀包括傳感測量頭（14）和顯示控制器，所述傳感測量頭（14）設置于測量組件上，傳感測量頭（14）與顯示控制器連接進行數據測量并將測量電信號傳輸至顯示控制器。

2.如權利要求1所述的溝槽對稱度測量裝置，其特征在于：所述傳感測量頭（14）通過可調節機構設置于測量組件，構成傳感測量頭（14）能在測量組件上沿傳感測量頭（14）軸向調節的結構。

3.如權利要求2所述的溝槽對稱度測量裝置，其特征在于：所述測量組件包括測量組件架體（15）和設置于測量組件架體（15）的安裝塊（16），所述傳感測量頭（14）設置于安裝塊（16）上，所述可調節機構包括傳感測量頭（14）和安裝塊（16）間配合的第一調節機構。

4.如權利要求2或3所述的溝槽對稱度測量裝置，其特征在于：所述測量組件包括測量組件架體（15）和設置于測量組件架體（15）的安裝塊（16），所述可調節機構包括測量組件架體（15）和安裝塊（16）間配合的第二調節機構。

5.如權利要求1所述的溝槽對稱度測量裝置，其特征在于：所述定位機構與主體架（11）可拆卸連接。

6.如權利要求1所述的溝槽對稱度測量裝置，其特征在于：所述定位機構所在主體架（11）的反側面設置有壓緊機構。

7.如權利要求1所述的溝槽對稱度測量裝置，其特征在于：所述旋轉機構（12）的安裝底面還設置有帶磁性的測量貼合塊（18）。

8.一種如權利要求1所述的溝槽對稱度測量裝置相配套的校準裝置，其特征在于：包括校準架（21），所述校準架（21）的兩內側面設置有一組標準塊（22）。

9.一種溝槽對稱度測量方法，其特征在于：包括以下步驟：

a、將溝槽對稱度測量裝置經校準后置入待測量溝槽，以溝槽內的一被測量面為基準，以定位機構定位測量裝置；

b、轉動旋轉機構（12）將傳感測量頭（14）轉至溝槽的一被測量面，在顯示控制器上讀取測量數據，再轉動旋轉機構（12）將傳感測量頭（14）轉至另一被測量面，再次讀取測量數據，根據兩次的測量數據判斷溝槽對稱度是否符合工藝要求。

10.如權利要求8所述的溝槽對稱度測量方法，其特征在于：所述測量裝置的校準步驟包括：

a、將傳感測量頭（14）的讀數置零并松開其可調節機構；

b、以所述校準裝置的一內側面為定位面，以定位機構定位測量裝置，再以標準塊（22）為基準通過可調節機構調節傳感測量頭（14）位置并鎖定，再將傳感測量頭（14）的讀數置零完成校準。