[發明專利]一種球柵陣列結構的植球設備

在審

• 申請號: 201310467225.3
• 申請日: 2013-10-09
• 公開（公告）號: CN104576415A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 劉勁松;任永軍
• 申請（專利權）人: 上海微松工業自動化有限公司;上海理工大學
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H01L21/687
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 林君如

1.一種球柵陣列結構的植球設備，其特征在于，包括供膠機構(1)、轉印機構(2)、供球機構(3)、植球機構(4)、工作平臺(5)、殘余球檢測機構(6)、X、Z軸運動機構(7)、底部架臺(8)，

所述的供膠機構(1)及供球機構(3)對應設置在底部架臺(8)的頂部，所述的轉印機構(2)架設在X、Z軸運動機構(7)上并位于供膠機構(1)的上方，所述的工作平臺(5)設在供膠機構(1)及供球機構(3)之間，所述的植球機構(4)架設在X、Z軸運動機構(7)上并位于工作平臺(5)的上方，所述的殘余球檢測機構(6)設在工作平臺(5)一側。

2.根據權利要求1所述的一種球柵陣列結構的植球設備，其特征在于，所述的工作平臺(5)用于放置裝有芯片的載具，套設在工作平臺Y軸上，可沿Y軸方向運動。

3.根據權利要求1所述的一種球柵陣列結構的植球設備，其特征在于，所述的供膠機構(1)和轉印機構(2)對托盤內芯片進行點膠，供膠機構(1)上設有刮膠刀(17)及供膠盒(18)。

4.根據權利要求1所述的一種球柵陣列結構的植球設備，其特征在于，所述的供球機構(3)和植球機構(4)對托盤內芯片進行植球。

5.根據權利要求1所述的一種球柵陣列結構的植球設備，其特征在于，所述的殘余球檢測和除去機構(6)對植球后植球機構(4)上殘余球進行檢測和清除。

6.根據權利要求1所述的一種球柵陣列結構的植球設備，其特征在于，所述的X、Z軸運動機構(7)由轉印機構Z軸(9)、轉印機構X軸(10)、植球機構Z軸(11)、植球機構X軸(12)組成。

7.根據權利要求6所述的一種球柵陣列結構的植球設備，其特征在于，所述的轉印機構Z軸(9)、轉印機構X軸(10)控制轉印機構(2)在Z軸及X軸方向上的運動。

8.根據權利要求6所述的一種球柵陣列結構的植球設備，其特征在于，所述的植球機構Z軸(11)、植球機構X軸(12)控制植球機構(4)在Z軸及X軸方向上的運動。

9.根據權利要求1所述的一種球柵陣列結構的植球設備，其特征在于，所述的植球設備好包括頂部安全罩，罩設在底部架臺(8)上，頂部安全罩由外殼體隔離板、觸摸屏、按鈕及三色報警燈構成。