[發明專利]光刻膠內袋無效
| 申請號: | 201310467135.4 | 申請日: | 2013-10-09 |
| 公開(公告)號: | CN103496513A | 公開(公告)日: | 2014-01-08 |
| 發明(設計)人: | 張為騰;朱棋鋒;吳康成 | 申請(專利權)人: | 上海和輝光電有限公司 |
| 主分類號: | B65D83/00 | 分類號: | B65D83/00 |
| 代理公司: | 隆天國際知識產權代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;呂俊清 |
| 地址: | 201500 上海市金山區*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光刻 膠內袋 | ||
1.一種光刻膠內袋,包括袋體(1)、開口部(2)和汲取管(3),其中,所述袋體(1)用于盛放光刻膠,并包括上部(11)和下部(12),所述開口部(2)開設于所述上部(11)的頂端,并具有光刻膠出口(21),所述下部(12)呈錐形漸縮,所述汲取管(3)連通于所述光刻膠出口并伸入所述袋體(1),并延伸至所述下部(12)的底端。
2.權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)為錐體,并包括頂面(11)和側面(12),所述開口部(2)位于所述頂面(11)。
3.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述下部(12)為錐體,所述下部(12)的底端形成尖角。
4.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述下部(12)為錐臺。
5.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述下部(12)的底端形成圓角。
6.如權利要求3所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述上部(11)為圓柱體。
7.如權利要求3所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述上部(11)為長方體。
8.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述光刻膠內袋設置在光刻機的光刻膠桶(10)內,所述光刻膠桶(10)具有頂部開口(20),所述光刻膠內袋的所述開口部(2)固定連接于所述光刻膠桶(10)的頂部,并且光刻膠能夠從所述頂部開口(20)擠出,氣體能夠從所述頂部開口(20)進入所述光刻膠桶(10)內,并從所述內袋(1)的外部擠壓所述內袋(1)以擠出所述光刻膠。
9.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)為塑料材質的袋體。
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