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[發明專利]光刻膠內袋無效

專利信息
申請號: 201310467135.4 申請日: 2013-10-09
公開(公告)號: CN103496513A 公開(公告)日: 2014-01-08
發明(設計)人: 張為騰;朱棋鋒;吳康成 申請(專利權)人: 上海和輝光電有限公司
主分類號: B65D83/00 分類號: B65D83/00
代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003 代理人: 李昕巍;呂俊清
地址: 201500 上海市金山區*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 光刻 膠內袋
【權利要求書】:

1.一種光刻膠內袋,包括袋體(1)、開口部(2)和汲取管(3),其中,所述袋體(1)用于盛放光刻膠,并包括上部(11)和下部(12),所述開口部(2)開設于所述上部(11)的頂端,并具有光刻膠出口(21),所述下部(12)呈錐形漸縮,所述汲取管(3)連通于所述光刻膠出口并伸入所述袋體(1),并延伸至所述下部(12)的底端。

2.權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)為錐體,并包括頂面(11)和側面(12),所述開口部(2)位于所述頂面(11)。

3.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述下部(12)為錐體,所述下部(12)的底端形成尖角。

4.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述下部(12)為錐臺。

5.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述下部(12)的底端形成圓角。

6.如權利要求3所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述上部(11)為圓柱體。

7.如權利要求3所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)的所述上部(11)為長方體。

8.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述光刻膠內袋設置在光刻機的光刻膠桶(10)內,所述光刻膠桶(10)具有頂部開口(20),所述光刻膠內袋的所述開口部(2)固定連接于所述光刻膠桶(10)的頂部,并且光刻膠能夠從所述頂部開口(20)擠出,氣體能夠從所述頂部開口(20)進入所述光刻膠桶(10)內,并從所述內袋(1)的外部擠壓所述內袋(1)以擠出所述光刻膠。

9.如權利要求1所述的光刻膠內袋,其中,所述袋體(1)為塑料材質的袋體。

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