[發(fā)明專利]一種碳化硅晶須的制作方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310466998.X | 申請(qǐng)日： | 2013-10-10 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103556212A | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 欒曉明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 欒曉明 |
| 主分類號(hào)： | C30B1/10 | 分類號(hào)： | C30B1/10;C30B29/62;C30B29/36 |
| 代理公司： | 沈陽(yáng)利泰專利商標(biāo)代理有限公司 21209 | 代理人： | 史進(jìn)斗 |
| 地址： | 116200 遼寧省大連市普*** | 國(guó)省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 碳化硅 制作方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種碳化硅晶須的制作方法，其特征在于包括下列步驟：
步驟一，將石墨及其他碳質(zhì)原料與硅質(zhì)原料粉碎充分混合，其碳質(zhì)原料與硅質(zhì)原料重量比為1:2；
步驟二，將步驟一的混合原料裝在有充氮?dú)獾恼婵崭袘?yīng)爐以15~20℃∕分鐘升溫，在1300~1700℃保溫2~5小時(shí)，自然冷卻得碳化硅晶須；
步驟三，將制作好的碳化硅晶須出爐純化處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅晶須的制作方法，其特征在于所述的碳質(zhì)原料為無(wú)煙煤、煙煤、炭黑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅晶須的制作方法，其特征在于所述的硅質(zhì)原料為石英砂、金屬硅、致少含80％si2的河沙、海沙。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅晶須的制作方法，其特征在于所述的碳化硅晶須出爐純化處理，可采用脫碳、脫二氧化硅、脫鐵的化學(xué)處理方法純化。
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