[發(fā)明專利]用于集成電路熱超聲鍵合設(shè)備的高頻壓電超聲換能器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310465933.3
• 申請日: 2013-09-29
• 公開（公告）號: CN103521423A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王福軍;梁存滿;田延嶺;張大衛(wèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 天津大學(xué)
• 主分類號: B06B1/06
• 分類號: B06B1/06;H01L21/607
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201
• 代理人: 張金亭

1.一種用于集成電路熱超聲鍵合設(shè)備的高頻壓電超聲換能器，包括相互連接的壓電振子和聚能器，所述聚能器設(shè)有夾持法蘭和從頭至尾依次設(shè)有的聚能器半波圓錐段和聚能器半波圓柱段，所述壓電振子固定在所述聚能器半波圓柱段的尾端，其特征在于，所述夾持法蘭固定在該換能器的軸向振動位移節(jié)點(diǎn)處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于集成電路熱超聲鍵合設(shè)備的高頻壓電超聲換能器，其特征在于，所述夾持法蘭設(shè)有外圓套筒和中間軸向彈性解耦結(jié)構(gòu)，所述外圓套筒通過所述中間軸向彈性解耦結(jié)構(gòu)固定在所述聚能器半波圓柱段上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于集成電路熱超聲鍵合設(shè)備的高頻壓電超聲換能器，其特征在于，所述中間軸向彈性解耦結(jié)構(gòu)為設(shè)置在所述外圓套筒與所述聚能器半波圓柱段之間的環(huán)形腹板。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于集成電路熱超聲鍵合設(shè)備的高頻壓電超聲換能器，其特征在于，所述中間軸向彈性解耦結(jié)構(gòu)為設(shè)置在所述外圓套筒與所述聚能器半波圓柱段之間的板狀輻條。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于集成電路熱超聲鍵合設(shè)備的高頻壓電超聲換能器，其特征在于，所述板狀輻條的中部為彈性鉸鏈結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于集成電路熱超聲鍵合設(shè)備的高頻壓電超聲換能器，其特征在于，所述夾持法蘭、所述聚能器半波圓錐段和所述聚能器半波圓柱段是整體加工形成的。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于集成電路熱超聲鍵合設(shè)備的高頻壓電超聲換能器，其特征在于，所述壓電振子包括前蓋板、后蓋板、數(shù)片銅片電極和數(shù)片鋯鈦酸鉛壓電陶瓷晶片，所述數(shù)片銅片電極和所述數(shù)片鋯鈦酸鉛壓電陶瓷晶片安裝在所述前蓋板和所述后蓋板之間，所述數(shù)片銅片電極和所述數(shù)片鋯鈦酸鉛壓電陶瓷晶片隔片設(shè)置；所述壓電振子通過穿裝在其內(nèi)部的預(yù)緊螺釘固定在所述聚能器半波圓柱段的尾端，所述預(yù)緊螺釘上裝有絕緣套管，所述絕緣套管位于所述預(yù)緊螺釘與所述數(shù)片銅片電極和所述數(shù)片鋯鈦酸鉛壓電陶瓷晶片之間。