[發明專利]雙彈簧預緊柔性解耦直線電機定位平臺

有效

• 申請號: 201310465150.5
• 申請日: 2013-09-29
• 公開（公告）號: CN103522079A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 梁存滿;王福軍;王赫影;田延嶺;張大衛
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: B23Q1/25
• 分類號: B23Q1/25;B23Q5/36;B25H1/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 張金亭

1.一種雙彈簧預緊柔性解耦直線電機定位平臺，包括基座和工作平臺，所述工作平臺設有X向驅動機構和Y向驅動機構，其特征在于，

所述X向驅動機構包括固定在所述基座上的X向直線導軌和X向直線電機定子，與所述X向直線電機定子適配的X向直線電機動子，與所述X向直線電機動子固接的X向定位平臺，所述X向定位平臺與所述X向直線導軌滑動連接，

所述Y向驅動機構包括固定在所述基座上的Y向直線導軌和Y向直線電機定子，與所述Y向直線電機定子適配的Y向直線電機動子，與所述Y向直線電機動子固接的Y向定位平臺，所述Y向定位平臺與所述Y向直線導軌滑動連接，

所述Y向定位平臺上設有X向工作平臺導軌，所述X向工作平臺導軌上設有與其滑動連接的所述工作平臺，所述工作平臺通過雙彈簧預緊柔性解耦機構與所述X向定位平臺連接，所述雙彈簧預緊柔性解耦機構包括與所述工作平臺剛性連接的懸臂式解耦運動導向方框板，所述方框板設有左右兩個X向板條和前后兩個Y向板條，兩個所述X向板條的中部均形成有彈性鉸鏈，前Y向板條與所述工作平臺剛性連接，后Y向板條與預緊機構滑動接觸，所述預緊機構為沿所述X向定位平臺的X向軸線對稱分布的結構，所述預緊機構包括固定在所述X向定位平臺上的一個鉸接立柱和兩個連接立柱，所述鉸接立柱位于所述方框板內，兩個所述連接立柱位于所述方框板外，在所述鉸接立柱上設有兩個預緊拉桿，所述預緊拉桿的一端與所述鉸接立柱轉動連接，所述預緊拉桿的另一端與預緊彈簧的一端連接，所述預緊彈簧的另一端與靠近的所述連接立柱連接，所述預緊拉桿中間安裝有安裝柱，所述安裝柱上安裝有后部滾針軸承，所述后部滾針軸承與所述后Y向板條的內側面滾動摩擦連接；在所述方框板內還設有與所述前Y向板條的內側面滾動摩擦連接的前部滾針軸承，所述前部滾針軸承安裝在支承柱上，所述支承柱固定在所述X向定位平臺上。

2.根據權利要求1所述的雙彈簧預緊柔性解耦直線電機定位平臺，其特征在于，所述前部滾針軸承和所述后部滾針軸承均為間隔設置的兩個。

3.根據權利要求1所述的雙彈簧預緊柔性解耦直線電機定位平臺，其特征在于，所述預緊拉桿為折彎桿。

4.根據權利要求1所述的雙彈簧預緊柔性解耦直線電機定位平臺，其特征在于，所述Y向定位平臺的側面中部安裝有Y向光柵傳感器的光柵尺，與所述Y向光柵傳感器的光柵尺適配的Y向光柵傳感器的讀數頭安裝在所述基座上；所述工作平臺的側面中部安裝有X向光柵傳感器的光柵尺，與所述X向光柵傳感器的光柵尺適配的X向光柵傳感器的讀數頭安裝在所述Y向定位平臺上。