[發明專利]真空動力沉積裝置

有效

• 申請號: 201310464725.1
• 申請日: 2013-10-08
• 公開（公告）號: CN104046980B
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 李英昱;韓政洹
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C24/04
• 分類號: C23C24/04
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;楊莘

1.一種真空動力沉積裝置，包括：

驅動單元；

線性運動單元，聯接至所述驅動單元并且被配置為根據所述驅動單元的操作而線性運動；以及

角度限制單元，聯接至所述線性運動單元并且被配置為根據所述線性運動單元的運動而在與所述線性運動單元的運動方向垂直的方向上運動，

其中所述線性運動單元包括引導單元，所述引導單元被配置為在所述角度限制單元運動時引導所述角度限制單元的一部分，

其中所述角度限制單元包括：

角度限制板，位于對應的源單元之間并且被配置為向上和向下線性運動；以及

滑動單元，聯接至所述角度限制板和所述線性運動單元，并且被配置為在所述線性運動單元運動時在與所述線性運動單元的運動方向垂直的方向上滑動。

2.如權利要求1所述的真空動力沉積裝置，其中所述驅動單元包括：

驅動力生成單元，被配置為生成驅動力；以及

旋轉單元，聯接至所述驅動力生成單元并且被配置為旋轉。

3.如權利要求2所述的真空動力沉積裝置，其中所述旋轉單元包括正齒輪。

4.如權利要求2所述的真空動力沉積裝置，其中所述線性運動單元包括運動塊，所述運動塊聯接至所述旋轉單元并且被配置為在所述旋轉單元旋轉時線性運動。

5.如權利要求1所述的真空動力沉積裝置，其中所述引導單元包括：

第一引導部；

第二引導部，在第一端與所述第一引導部聯接，并且從所述第一引導部對角延伸；以及

第三引導部，聯接至所述第二引導部的第二端。

6.如權利要求5所述的真空動力沉積裝置，其中所述第一引導部和所述第三引導部垂直偏移。

7.如權利要求1所述的真空動力沉積裝置，其中所述引導單元限定出橢圓形的孔。

8.如權利要求1所述的真空動力沉積裝置，其中所述角度限制單元還包括連接器，所述連接器用于使所述角度限制板與所述滑動單元聯接。

9.如權利要求1所述的真空動力沉積裝置，其中所述角度限制單元還包括阻塞單元，所述阻塞單元位于所述角度限制板與所述滑動單元之間并且被配置為封閉側護板處的槽。

10.如權利要求1所述的真空動力沉積裝置，還包括固定單元，所述固定單元被配置為使所述角度限制單元能夠滑動。

11.如權利要求10所述的真空動力沉積裝置，還包括線性引導單元，所述線性引導單元位于所述固定單元與所述滑動單元之間并且被配置為引導所述滑動單元。

12.如權利要求1所述的真空動力沉積裝置，還包括輔助引導單元，所述輔助引導單元面向所述線性運動單元并且被配置為引導所述線性運動單元。

13.如權利要求12所述的真空動力沉積裝置，其中所述輔助引導單元包括：

固定支架；以及

引導部，位于所述固定支架的外表面并且被配置為引導所述線性運動單元。

14.如權利要求13所述的真空動力沉積裝置，還包括位于所述固定支架外表面處的加固肋。

15.如權利要求13所述的真空動力沉積裝置，其中所述線性運動單元包括插入到所述引導部中的突起單元。

16.如權利要求1所述的真空動力沉積裝置，還包括指示單元，所述指示單元被配置為指示所述角度限制單元的位置。