[發明專利]一種雙光學系統閃測影像設備

有效

• 申請號: 201310464405.6
• 申請日: 2013-09-29
• 公開（公告）號: CN103471507B
• 公開（公告）日: 2016-10-26
• 發明（設計）人: 程從飛;曹葵康;蔡雄飛;楊聰
• 申請（專利權）人: 蘇州天準科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種雙光學系統閃測影像設備，其特征在于：包括測量模塊、控制模塊、光學成像模塊、驅動模塊和測量平臺，所述控制模塊包括驅動控制單元和圖像處理單元，所述光學成像模塊包括大視野光學單元和顯微鏡光學單元，所述驅動模塊包括X向驅動單元和Y向驅動單元。

2.根據權利要求1所述的一種雙光學系統閃測影像設備，其特征在于：所述光學成像模塊均與所述驅動模塊相連接，所述驅動模塊與所述控制模塊相連接，所述控制模塊與所述測量模塊相連接，且所述大視野光學單元中的鏡頭和所述顯微鏡光學單元中的顯微鏡頭之間的相對位置固定。

3.根據權利要求1所述的一種雙光學系統閃測影像設備，其特征在于：所述測量平臺用于放置被測工件，從而使所述光學成像模塊采集到被測工件的影像數據信息。

4.根據權利要求1所述的一種雙光學系統閃測影像設備，其特征在于：所述光學成像模塊用于對所述測量平臺上的被測工件進行成像，并將被測工件所成的影像數據信息傳輸給所述控制模塊，其中所述大視野光學單元用于常規領域的整體尺寸相關參數的測量，所述顯微鏡光學單元則用于特殊領域的細節尺寸相關參數的測量。

5.根據權利要求1所述的一種雙光學系統閃測影像設備，其特征在于：所述驅動模塊用于驅動所述光學成像模塊并使之移動，其中所述X向驅動單元用于驅動所述光學成像模塊做X向的移動，所述Y向驅動單元用于驅動所述光學成像模塊做Y向的移動。

6.根據權利要求1所述的一種雙光學系統閃測影像設備，其特征在于：所述控制模塊用于處理所述光學成像模塊采集到的影像數據信息以獲得被測工件的參數，且用于控制整個測量過程，其中所述圖像處理單元用于控制所述光學成像模塊在移動的過程中對被測工件進行多次成像并用于處理所成影像數據以獲得被測工件的參數，所述驅動控制單元用于控制所述驅動模塊以使所述光學成像模塊按預定路徑移動。

7.根據權利要求1所述的一種雙光學系統閃測影像設備，其特征在于：所述測量模塊用于提供人機交互的界面，操作人員通過所述測量模塊觀測待測工件、輸入輸出數據、控制測量過程和對測量數據進行分析。

8.根據權利要求1所述的一種雙光學系統閃測影像設備，其特征在于，其工作過程包括如下步驟：

1)為了實現所述大視野光學單元和所述顯微鏡光學單元獲取測量數據的統一性，需要對兩個光學單元之間的相對位置進行標定，獲取相互之間的位置關系，并在測量中使用這些數據，對測量數據進行實時補償，就可將這兩個光學單元的測量數據統一到相同的坐標系中；

2)將一被測工件放置在所述測量平臺上，并確保被測工件在其圖像顯示區域內；

3)先切換至所述大視野光學單元，由所述大視野光學單元的鏡頭獲取該被測工件的圖像，并將該被測工件的圖像傳送至鏡頭影像區內，并確保該被測工件的圖像在影像畫面中的成像清晰，根據圖像拼接和坐標變換后的被測工件影像測得被測工件的參數；

4)再切換至所述顯微鏡光學單元，由所述顯微鏡光學單元的顯微鏡頭獲取該被測工件的細節顯微圖像，并將該被測工件的細節顯微圖像傳送至鏡頭影像區內，并確保該被測工件的細節顯微圖像在影像畫面中的成像清晰，根據圖像拼接和坐標變換后的被測工件影像測得被測工件的參數；

5)在所述顯微鏡光學單元的所有工作過程中，根據之前兩光學單元標定后的坐標補償數據，對測量數據進行補償，就可將這兩個光學單元的測量數據統一到相同的坐標系中，進而完成整個測量過程。