[發明專利]用于光刻機鏡頭的遠心測量裝置及方法

有效

• 申請號: 201310463553.6
• 申請日: 2013-10-08
• 公開（公告）號: CN104516210A
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發明（設計）人: 束奇偉;葛亮
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01M11/02
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種用于光刻機鏡頭的遠心測量裝置，其特征在于，包括：

一光學散射器件，用于將所述光刻機的照明裝置的出射光散射為各角度均勻出射的散射光；

一針孔標記，所述針孔標記位于所述鏡頭的物方視場內；

一能量傳感器，用于測量所述針孔標記成像的中心位置。

2.如權利要求1所述的遠心測量裝置，其特征在于，當所述光刻機有多個鏡頭，每個所述鏡頭的物方視場內對應包括至少一個針孔標記，所述能量傳感器的數量及位置與所述針孔標記相對應。

3.如權利要求2所述的遠心測量裝置，其特征在于，所述光刻機多個鏡頭組成鏡頭單元。

4.如權利要求3所述的遠心測量裝置，其特征在于，所述每個鏡頭下有對應的2個所述針孔標記，所述針孔標記組成針孔標記陣列，所述能量傳感器的數量及位置與所述針孔標記相對應，組成能量傳感器陣列。

5.如權利要求1所述的遠心測量裝置，其特征在于，所述光學散射器件為毛玻璃。

6.一種用于光刻機鏡頭的遠心測量裝置的測量方法，其特征在于，包括如下步驟：

使用光學散射器件使物鏡充滿以排除照明系統位置偏差影響；?NA至少兩個鏡頭時使用能量傳感器測量光錐輪廓以確定光錐中心位置；?在不同的垂向位置處測量光錐輪廓以確定光錐中心位置；?使用不同垂向位置處測量得到的光錐中心位置計算光軸傾斜；?根據光軸傾斜調整物鏡光軸位置；?卸載散射器件；?使用能量傳感器測量光錐輪廓以確定光錐中心位置；?在不同的垂向位置處測量光錐輪廓以確定光錐中心位置；?使用不同垂向位置處測量得到的光錐中心位置計算光束主光線方向；?根據主光線方向調整照明位置。

7.如權利要求6所述的遠心測量方法，其特征在于，當所述光刻機僅有一個鏡頭時，所述鏡頭的物方視場內僅包括一個針孔標記。

8.如權利要求6所述的遠心測量方法，其特征在于，當所述光刻機包括至少兩個鏡頭時，每個鏡頭的物方視場內均包括兩個針孔標記。