[發明專利]一種顯微裝置及成像方法

有效

• 申請號: 201310461837.1
• 申請日: 2013-09-30
• 公開（公告）號: CN104516098B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 郁彥彬;郭心;杜昭輝;郭勇
• 申請（專利權）人: 西門子公司
• 主分類號: G02B21/36
• 分類號: G02B21/36;G02B21/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 李慧

1.一種顯微裝置，包括：

位移裝置，用于使待測樣品與成像裝置之間產生相對位移，所述位移位于一個平面內；

成像裝置，用于獲取所述待測樣品在相對于所述成像裝置的不同位置處的多幅圖像，其中所述多幅圖像具有第一分辨率;

位置感測裝置，用于檢測所述待測樣品與所述成像裝置之間的相對位移；

圖像處理裝置，用于接收所述具有第一分辨率的多幅圖像和所述位置感測裝置檢測到的所述位移，并根據檢測到的所述位移將所述多幅具有第一分辨率的圖像疊加，合成出具有高于第一分辨率的第二分辨率的圖像。

2.根據權利要求1所述的顯微裝置，其中所述位移裝置用于使所述待測樣品發生位移。

3.根據權利要求1所述的顯微裝置，其中所述位移裝置用于使所述成像裝置發生位移。

4.根據權利要求1所述的顯微裝置，還包括用于產生照射所述待測樣品的平行光的光源。

5.根據權利要求1所述的顯微裝置，還包括用于發出照射所述待測樣品的光的脈沖式光源。

6.根據權利要求1所述的顯微裝置，其中所述平面為水平面。

7.根據權利要求6所述的顯微裝置，其中所述位移裝置包括限位裝置。

8.根據權利要求1所述的顯微裝置，其中每間隔一采樣間隔時間，所述成像裝置獲取一幅所述待測樣品的圖像。

9.根據權利要求8所述的顯微裝置，其中所述采樣間隔時間被選擇為使間隔一個所述采樣間隔時間的相鄰的所述具有第一分辨率的圖像之間的相對位移量等于所述成像裝置的一個像素的尺寸的1/10-1/3。

10.根據權利要求1所述的顯微裝置，其中所述位移裝置的位移幅度使得所述多幅具有第一分辨率的圖像之間的最大位移量大于所述成像裝置的一個像素的尺寸。

11.根據權利要求1所述的顯微裝置，其中所述位移裝置為振動裝置。

12.根據權利要求1所述的顯微裝置，其中所述顯微裝置為透射式或反射式顯微鏡，或者投影式無透鏡顯微裝置。

13.根據權利要求1所述的顯微裝置，其中所述位置感測裝置包括設置在待測樣品上的參考標記，所述參考標記在所述成像裝置上所成的像覆蓋所述成像裝置的多個像素，根據所述多個像素中的每個像素的灰度值之間的相對關系確定參考標記相對于所述成像裝置的位置。

14.一種成像方法，包括：

利用成像裝置獲取待測樣品的并具有第一分辨率的多幅圖像；

使所述待測樣品與所述成像裝置形成相對位移，所述位移位于一個平面內；

檢測所述待測樣品與所述成像裝置之間的相對位移量；

接收多幅所述具有第一分辨率的圖像和所檢測到的位移，并根據所檢測到的位移將所述具有第一分辨率的多幅圖像疊加，合成出具有高于第一分辨率的第二分辨率的圖像。