[發(fā)明專利]一種抗側擺三維引線成弧方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310461814.0 | 申請日: | 2013-09-30 |
| 公開(公告)號: | CN103500715A | 公開(公告)日: | 2014-01-08 |
| 發(fā)明(設計)人: | 王福亮;陳云;韓雷;李軍輝 | 申請(專利權)人: | 中南大學 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 長沙市融智專利事務所 43114 | 代理人: | 黃美成 |
| 地址: | 410083 湖南*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 抗側擺 三維 引線 方法 | ||
1.一種抗側擺三維引線成弧方法,其特征在于,以P點所在的芯片焊盤(3)的表面作為XPY平面,以P點所在的與XOY平面垂直的平面作為XOZ平面,將XOZ平面沿Y軸負方向平行移動得到的平面記為第一平行平面即X′O′Z′平面,X′O′Z′平面關于XOZ平面對稱的平面記為第二平行平面;
包括以下步驟:
步驟1:在芯片焊盤中心點位置(4)P點形成第一焊點;
步驟2:劈刀(5)在XOZ平面上從P點沿Z軸垂直向上運動50-200微米至A點,同時釋放出引線PA段;接著,劈刀(5)在XOZ平面從A點沿X軸負方向水平移動50-400微米至B點,同時釋放出引線AB段;
步驟3:劈刀(5)從XOZ平面上的B點運動到X′O′Z′平面上的C點,同時釋放引線BC段,B點的Z軸坐標正向增加1000-1500微米,Y軸坐標減少50-200微米,X軸坐標不變;接著劈刀(5)從X′O′Z′平面上的C點沿X軸正向運動100-400微米至D點,同時釋放出引線CD段;
步驟4:劈刀(5)在X′O′Z′平面上的D點沿直線運動至X′O′Z′平面上的E點,同時釋放引線DE段,D點的Z軸坐標增加1500-2000微米,Y軸坐標增加100-400微米,X軸坐標不變;
步驟5:劈刀(5)以P點投影到第二平行平面上的點為圓心,PE長度為半徑,從第二平行平面上的E點沿圓軌跡逆時針向下做大于角度S的運動到達F點,同時釋放引線EF段;劈刀(5)以P點投影到第二平行平面上的點為中心,短軸為0F的長度,長軸為PF長度的1.1倍,從第二平行平面上的F點沿橢圓軌跡順時針向上做大于角度S到達G點,同時釋放引線FG段;
步驟6:劈刀(5)從第二平行平面上的G點沿直線運動至XOZ平面上的H點,同時釋放引線GH段,G點的Z軸坐標增加與PA的長度相同,Y軸坐標變?yōu)?,X軸坐標不變;接著,在XOZ平面上,劈刀(5)沿X軸正向移動至I點,HI長度與GH的長度相同;最后,以與步驟1中的芯片焊盤(3)相連的框架焊盤(7)中點為K點,劈刀(5)在XOZ平面上沿圓弧軌跡運動至K點,同時釋放引線IK段,即完成從芯片焊盤到框架焊盤之間的引線搭建。
2.根據(jù)權利要求1所述的抗側擺三維引線成弧方法,其特征在于,所述步驟5中的角度S的取值范圍是135°-165°。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





