[發(fā)明專利]釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜、制備方法及其應(yīng)用

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310461130.0
• 申請日: 2013-09-25
• 公開（公告）號: CN104449706A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周明杰;陳吉星;王平;張振華
• 申請（專利權(quán)）人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
• 主分類號: C09K11/67
• 分類號: C09K11/67;H01L33/50
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及一種釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜、其制備方法、薄膜電致發(fā)光器件及其制備方法。

【背景技術(shù)】

薄膜電致發(fā)光器件(TFELD)由于其主動發(fā)光、全固體化、耐沖擊、反應(yīng)快、視角大、適用溫度寬、工序簡單等優(yōu)點，已引起了廣泛的關(guān)注，且發(fā)展迅速。目前，研究彩色及至全色TFELD，開發(fā)多波段發(fā)光的薄膜，是該課題的發(fā)展方向。但是，可應(yīng)用于薄膜電致發(fā)光器件的釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜，仍未見報道。

【發(fā)明內(nèi)容】

基于此，有必要提供一種可應(yīng)用于薄膜電致發(fā)光器件的釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜、其制備方法、使用該釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜的薄膜電致發(fā)光器件及其制備方法。

一種釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜，所述釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)通式為Me₅(TaO₄)₃Cl：xSm³⁺，其中，x為0.01～0.05，Me為鎂離子、鈣離子、鍶離子或鋇離子。

優(yōu)選地，所述x為0.02。

一種釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜的制備方法，包括以下步驟：

將MeO、MeCl₂、Ta₂O₅和Sm₂O₃粉體按摩爾比為9:1:3:x的比例混合均勻得到混合粉末，將所述混合粉末在900℃～1300℃燒結(jié)0.5小時～3小時制成靶材，其中，x為0.01～0.05，Me為鎂離子、鈣離子、鍶離子或鋇離子；

將所述靶材以及襯底裝入脈沖激光沉積鍍膜設(shè)備的真空腔體，并將真空腔體的真空度設(shè)置為1.0×10^-5Pa～1.0×10^-3Pa；及

調(diào)整脈沖激光沉積鍍膜工藝參數(shù)為：基靶間距為45mm～95mm，工作壓強0.5Pa～5Pa，工作氣體的流量為10sccm～40sccm，襯底溫度為250℃～750℃，激光能量為80～300mJ，接著進(jìn)行制膜，得到化學(xué)式為Me₅(TaO₄)₃Cl：xSm³⁺的釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜，其中，x為0.01～0.05，Me為鎂離子、鈣離子、鍶離子或鋇離子。

優(yōu)選地，所述真空腔體的真空度為5.0×10^-4Pa，基靶間距為60mm，工作壓強為3Pa，工作氣體為氧氣，工作氣體的流量為20sccm，襯底溫度為500℃，激光能量為150mJ。

優(yōu)選地，所述釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜的厚度為60nm～350nm。

一種薄膜電致發(fā)光器件，包括依次層疊的襯底、陽極層、發(fā)光層以及陰極層，所述發(fā)光層的材質(zhì)為釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜，所述釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)式為Me₅(TaO₄)₃Cl：xSm³⁺，其中，x為0.01～0.05，Me為鎂離子、鈣離子、鍶離子或鋇離子。

優(yōu)選地，所述x為0.02。

優(yōu)選地，所述發(fā)光層的厚度為60nm～350nm。

一種薄膜電致發(fā)光器件的制備方法，包括以下步驟：

提供具有陽極的襯底；

將MeO、MeCl₂、Ta₂O₅和Sm₂O₃粉體按摩爾比為9:1:3:x的比例混合均勻得到混合粉末，將所述混合粉末在900℃～1300℃燒結(jié)0.5小時～3小時即制成靶材，其中，x為0.01～0.05，Me為鎂離子、鈣離子、鍶離子或鋇離子；

將所述靶材以及所述具有陽極的襯底裝入脈沖激光沉積鍍膜設(shè)備的真空腔體，并將真空腔體的真空度設(shè)置為1.0×10^-5Pa～1.0×10^-3Pa；及

調(diào)整脈沖激光沉積鍍膜工藝參數(shù)為：基靶間距為45mm～95mm，工作壓強0.5Pa～5Pa，工作氣體的流量為10sccm～40sccm，襯底溫度為250℃～750℃，激光能量為80～300mJ，接著進(jìn)行制膜，在所述陽極上制備得到發(fā)光層，所述發(fā)光層的材質(zhì)為釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜，所述釤摻雜氯鉭酸鹽發(fā)光薄膜的化學(xué)式為Me₅(TaO₄)₃Cl：xSm³⁺，其中，x為0.01～0.05，Me為鎂離子、鈣離子、鍶離子或鋇離子；