[發明專利]用于自動化物料傳輸系統的輸送車

無效

• 申請號: 201310461116.0
• 申請日: 2013-09-30
• 公開（公告）號: CN103482475A
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 唐國強
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B66C11/00
• 分類號: B66C11/00;B66C13/16
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本發明涉及半導體集成電路物料輸送設備技術領域，尤其涉及一種硅片盒自動搬送系統中的輸送車。

背景技術

隨著半導體技術的發展，300mm硅片已經逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統（Automated?Material?Handling?Systems，簡稱AMHS）作為連接各個制造模塊之間輸送硅片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。

現有技術中，用于300mm硅片制造的一種主流AMHS是采用懸吊式搬送系統，其包括多個用于存放半導體硅片的硅片存儲設備（STOCKER）和一個或多個空中升降機輸送車（Overhead?Hoist?Transport，簡稱OHT），用于在硅片制造區域的各工位之間傳送硅片。存放在STOCKER中的硅片被裝入盒式容器，例如前端開口片盒（Front?Opening?Unified?Pod，簡稱FOUP），隨后它們被傳遞到在懸垂軌道上行進的OHT輸送車。

OHT輸送車一般是通過非接觸供電方式供電，其工作原理就是在軌道的一側鋪設特殊的線纜，輸送車通過切割這個線纜產生的磁力線獲得供電。一個AMHS系統中所有輸送車的最高行駛速度一般根據該AMHS系統的實際情況進行預先設定，輸送車啟動時的加速度和制動時的減速度也基本由該AMHS系統的情況而決定，基本也是預設額定的。

然而，一個AMHS系統內需要搬送的硅片盒重量會有所不同，有時需要將多硅片或滿硅片的硅片盒I從A機臺搬送至B機臺，有時也需要將少硅片或無硅片的硅片盒II從C機臺搬送至D機臺。若以較快的速度、加速度或減速度搬送硅片盒I，由于硅片盒I重量較大，對系統的負重要求較大，搬送過程中慣性也較大，可能存在安全性隱患；若以較慢的速度、加速度或減速度搬送硅片盒II，由于硅片盒II重量較小，一定程度上又顯得不夠效率，浪費了資源。

發明內容

本發明的目的在于彌補上述現有技術的不足，提供一種新的用于自動化物料傳輸系統的輸送車。

為實現上述目的，本發明提供一種用于自動化物料傳輸系統的輸送車，其包括：

車身，懸吊在AMHS系統的軌道上并行駛；

升降機構，固定于輸送車的車身并向下可伸縮得延伸；

取放機構，設于升降機構下方末端，用于依靠升降機構的高度調節來取放硅片盒；

重量傳感器，設于升降機構上，用于監測升降機構上承載取放機構和硅片盒的重量；

控制單元，設于車身內并與重量傳感器、升降機構、取放機構信號連接，控制單元還與輸送車的驅動單元、制動單元信號連接，用以根據重量傳感器得到的重量信息對驅動單元和制動單元發出指令，改變輸送車的行駛狀態。

進一步地，該升降機構包括至少一個導輪和通過導輪上下伸縮的繩索，該重量傳感器設于該繩索上。

進一步地，該控制單元與數據存儲單元相連，該數據存儲單元預存有重量與速度關系的數據信息。

進一步地，該控制單元還與AMHS系統的總控單元信號連接。

進一步地，該驅動單元、制動單元分別與輸送車車輪相連接。

本發明采用以上技術方案，提供一種新的用于自動化物料傳輸系統的輸送車，通過在升降機構上設置重量傳感器，可以實時監測該輸送車運載硅片盒的重量，并將該重量信息發送至控制單元，控制單元根據當前重量獲得對應的速度，發送指令至輸送車的驅動單元或制動單元，輸送車即按照新的速度、加速度或減速度行駛。本發明解決了現有技術中不同負載的情況下輸送車行駛狀態同一，而造成的安全性隱患和資源的浪費，可以有效提高AMHS系統整體的搬送效率，也能提升系統的穩定性和安全性。

附圖說明

為能更清楚理解本發明的目的、特點和優點，以下將結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細描述，其中：

圖1是本發明第一實施例的輸送車方框示意圖；

圖2是本發明第二實施例的輸送車方框示意圖。

具體實施方式

第一實施例

請參閱圖1，本實施例的輸送車用于AMHS懸吊式輸送系統，其包括：

車身10，懸吊在AMHS系統的軌道上并行使，搬送硅片盒；