[發(fā)明專利]一種靶材復(fù)合燒結(jié)爐

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310460857.7
• 申請(qǐng)日: 2013-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN103542715A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚宏勝;李歡;呂文強(qiáng);吳敦元;李飛龍;陳泰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥高歌熱處理應(yīng)用技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F27B5/05
• 分類號(hào): F27B5/05;F27B5/06;F27B5/12;F27B5/14;F27B5/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于靶材高溫?zé)Y(jié)的工業(yè)爐領(lǐng)域，具體是一種靶材復(fù)合燒結(jié)爐。

背景技術(shù)

靶材復(fù)合燒結(jié)爐主要適用于靶材的高溫?zé)Y(jié)工藝。靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，不論是半導(dǎo)體集成電路、記錄介質(zhì)還是平面顯示、工件表面涂裝都得到廣泛的應(yīng)用，是一種高附加值的功能材料，隨著我國電子信息產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，我國已逐漸成為世界上靶材的最大需求國家之一。目前，國內(nèi)沒有滿足靶材高溫?zé)Y(jié)工藝要求的高溫?zé)Y(jié)爐。靶材的燒結(jié)對(duì)溫度的敏感性要求非常高，傳統(tǒng)的電加熱爐其加熱方式是由外及內(nèi)，很難使產(chǎn)品內(nèi)外同時(shí)受熱均勻，而微波加熱雖然可以通過分子的運(yùn)動(dòng)使產(chǎn)品受熱，但它會(huì)造成產(chǎn)品內(nèi)熱而外冷，同樣會(huì)造成產(chǎn)品內(nèi)外受熱不均。另外，以往在爐膛結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和耐材的選擇上存在著諸多隱患，往往會(huì)造成爐膛開裂、塌頂、掉渣等現(xiàn)象，不能滿足產(chǎn)品的正常燒結(jié)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明一種靶材復(fù)合燒結(jié)爐所要解決的技術(shù)問題是：提供電加熱輔助微波加熱的一種靶材復(fù)合燒結(jié)爐，二者相互補(bǔ)充，有效確保了靶材燒結(jié)的均勻性，整個(gè)框架雙層水冷外密封結(jié)構(gòu)，耐材爐膛選用不同規(guī)格的專用耐材拼裝而成，通過陶瓷壓板將耐材鉚固壓緊，避免爐膛開裂、塌頂現(xiàn)象的產(chǎn)生。

本發(fā)明一種靶材復(fù)合燒結(jié)爐所采取的技術(shù)方案是：一種靶材復(fù)合燒結(jié)爐的機(jī)械框架為落地式外密封結(jié)構(gòu)，上部用于固定耐材爐膛，下部用于固定液壓承燒臺(tái)，耐材爐膛頂部與法蘭連接，連接處增加微波密封，液壓承燒平臺(tái)由液壓動(dòng)力單元和承燒臺(tái)組成，承燒臺(tái)下設(shè)計(jì)有支撐結(jié)構(gòu)，液壓動(dòng)力單元驅(qū)動(dòng)承燒臺(tái)上升和下降，耐材爐膛四周吊掛布置硅鉬棒，測(cè)溫?zé)崤紡哪筒臓t膛頂部(4)伸入耐材爐膛，多組磁控管均勻分布在耐材爐膛頂部，實(shí)現(xiàn)微波輔助加熱，爐膛側(cè)面中心位置設(shè)置有紅外測(cè)溫儀，真空泵預(yù)抽真空，實(shí)現(xiàn)爐膛內(nèi)氣氛的快速置換。機(jī)械框架主體采用A3型鋼和板材焊接而成，方型雙層水冷結(jié)構(gòu)，機(jī)械框架表面設(shè)計(jì)有掛板，掛板表面防腐處理。耐材爐膛選用多層不同規(guī)格的專用耐材、采用施壓咬口方式拼裝而成，耐材爐膛內(nèi)部預(yù)埋陶瓷螺栓，陶瓷壓板通過固定在耐材爐膛內(nèi)部的螺桿鉚固壓緊，耐材爐膛頂部設(shè)置有不銹鋼防泄漏裝置。

本發(fā)明一種靶材復(fù)合燒結(jié)爐的有益效果是：框架表面設(shè)計(jì)有掛板，掛板表面防腐處理，既形成設(shè)備的整體外觀又防止高溫對(duì)操作人員造成的意外傷害；液壓承燒平臺(tái)的設(shè)置，承燒臺(tái)上設(shè)計(jì)有獨(dú)特的支撐結(jié)構(gòu)，保證了運(yùn)行的平穩(wěn)性和可靠性，有效的防止承燒臺(tái)在使用過程中的下沉現(xiàn)象；爐膛設(shè)置有效的保證了腔體的平整性、密封性和可靠性，避免了爐膛開裂、塌頂現(xiàn)象的產(chǎn)生；實(shí)現(xiàn)對(duì)不同溫度不同產(chǎn)品的輔助加熱，不但滿足了高、精、尖試驗(yàn)或產(chǎn)品的要求，而且彌補(bǔ)了電加熱在低溫段和對(duì)于較大產(chǎn)品受熱不均勻的不足。

附圖說明

圖1是本發(fā)明一種靶材復(fù)合燒結(jié)爐的爐體結(jié)構(gòu)示意圖。

1為機(jī)械框架，2為耐材爐膛，3為承燒平臺(tái)，4為頂部，5為法蘭，6為掛板，7為液壓動(dòng)力單元，8為承燒臺(tái)，9為支撐結(jié)構(gòu)，10為陶瓷螺栓，11為陶瓷壓板，12為硅鉬棒，13為測(cè)溫?zé)崤迹?4為真空泵，15為多組磁控管，16為防泄漏裝置，17為紅外測(cè)溫儀。

具體實(shí)施方式

如圖1，一種靶材復(fù)合燒結(jié)爐，主要由機(jī)械框架1、耐材爐膛2、承燒平臺(tái)3等組成。其中，機(jī)械框架1為落地式外密封結(jié)構(gòu)，上部用于固定耐材爐膛2，下部用于固定液壓承燒平臺(tái)3；機(jī)械框架1主體采用A3型鋼和板材焊接而成，方型雙層水冷結(jié)構(gòu)，耐材爐膛2頂部4與法蘭5連接，連接處增加微波密封，機(jī)械框架1表面設(shè)置有掛板6，掛板6表面防腐處理，既形成設(shè)備的整體外觀又防止高溫對(duì)操作人員造成的意外傷害；液壓承燒平臺(tái)3由液壓動(dòng)力單元7和承燒臺(tái)8組成，通過液壓驅(qū)動(dòng)承燒臺(tái)8上升和下降，保證了運(yùn)行的平穩(wěn)性和可靠性，承燒臺(tái)8下設(shè)置有支撐結(jié)構(gòu)9，有效的防止承燒臺(tái)8在使用過程中的下沉現(xiàn)象；耐材爐膛2選用多層不同規(guī)格的專用耐材拼裝而成，施工時(shí)采用施壓咬口方式，耐材爐膛2內(nèi)部預(yù)埋陶瓷螺栓10，陶瓷壓板11通過固定在耐材爐膛2內(nèi)部的螺桿鉚固壓緊，有效的保證了腔體的平整性、密封性和可靠性，避免了耐材爐膛2開裂、塌頂現(xiàn)象的產(chǎn)生；硅鉬棒12四周吊掛布置，測(cè)溫?zé)崤?3從耐材爐膛2頂部4伸入耐材爐膛2，真空泵14可以預(yù)抽真空，實(shí)現(xiàn)耐材爐膛2內(nèi)氣氛的快速置換；多組磁控管15均勻分布在耐材爐膛2頂部4，耐材爐膛2頂部4設(shè)置有不銹鋼防泄漏裝置16，耐材爐膛2側(cè)面中心位置設(shè)置紅外測(cè)溫儀17，實(shí)現(xiàn)了對(duì)不同溫度不同產(chǎn)品的輔助加熱，滿足了高、精、尖試驗(yàn)或產(chǎn)品的要求，彌補(bǔ)了電加熱在低溫段和對(duì)于較大產(chǎn)品受熱不均勻的不足。