[發(fā)明專利]帶有電磁合軸裝置的電子槍在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310460591.6 | 申請日： | 2013-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN103474308A | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 韋壽祺;朱國坤;黃小東 | 申請（專利權(quán)）人： | 桂林獅達(dá)機(jī)電技術(shù)工程有限公司 |
| 主分類號： | H01J3/02 | 分類號： | H01J3/02;H01J1/50 |
| 代理公司： | 桂林市持衡專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 45107 | 代理人： | 陳躍琳 |
| 地址： | 541004 廣西壯族自治*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 帶有 電磁 裝置 電子槍 | ||
1.帶有電磁合軸裝置的電子槍，包括依次呈同軸對中布設(shè)的陰極（1）、聚束極（2）、陽極（3）、聚焦裝置（5）和偏轉(zhuǎn)掃描裝置（6）；陰極（1）產(chǎn)生的電子束（7）依次經(jīng)過聚束極（2）、陽極（3）、聚焦裝置（5）和偏轉(zhuǎn)掃描裝置（6）后匯聚到工件（8）上；其特征在于：在電子束（7）飛行路徑上的陽極（3）與聚焦裝置（5）之間設(shè)置有電磁合軸裝置（4）；該電磁合軸裝置（4）主要由鐵甲（4-1）、以及設(shè)置在鐵甲（4-1）內(nèi)的聚焦磁場磁隙（4-3）、聚焦繞組（4-2）和偏轉(zhuǎn)繞組（4-4）組成；鐵甲（4-1）的中部留有供電子束（7）通過的電子束（7）通道；聚焦磁場磁隙（4-3）朝向電子束（7）通道；聚焦繞組（4-2）與供電電源相連，通電后聚焦繞組（4-2）產(chǎn)生平行于電子束（7）飛行參考方向的磁場；偏轉(zhuǎn)繞組（4-4）包括X、Y兩組繞組，X、Y兩組繞組各與一獨(dú)立的供電電源相連，通電后X、Y兩組繞組產(chǎn)生垂直于電子束（7）飛行參考方向的磁場。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有電磁合軸裝置的電子槍，其特征在于：聚焦繞組（4-2）的供電電源為可調(diào)的直流電源，偏轉(zhuǎn)繞組（4-4）的供電電源為獨(dú)立兩路的可調(diào)雙極性直流電源。
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