[發明專利]干式真空泵裝置和在該干式真空泵所使用的控制裝置

在審

• 申請號: 201310460434.5
• 申請日: 2013-09-30
• 公開（公告）號: CN103711697A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 巖崎弘一;中澤敏治;吉田真也;大山敦
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C28/08
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;李文嶼

1.一種干式真空泵裝置，具有至少一個泵單元和控制所述泵單元的控制裝置，其特征在于，

所述泵單元具有：

干式真空泵；

驅動所述干式真空泵的馬達；和

控制所述馬達的轉速的逆變器，

所述控制裝置具有將所述逆變器的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值的功能，所述第1電流限制值是所述逆變器能夠連續流向所述馬達的電流的最大值即連續額定電流值，所述第2電流限制值是超過所述連續額定電流值的值。

2.根據權利要求1所述的干式真空泵裝置，其特征在于，

按照來自設置于所述干式真空泵裝置外部的外部指令裝置的指令，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第1電流限制值切換為所述第2電流限制值。

3.根據權利要求1所述的干式真空泵裝置，其特征在于，

所述控制裝置在所述逆變器輸出與所述第1電流限制值相當的電流時，在所述干式真空泵的轉速低于預定的目標轉速的情況下，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第1電流限制值切換為所述第2電流限制值。

4.根據權利要求3所述的干式真空泵裝置，其特征在于，

所述控制裝置在檢測到所述泵的轉速恢復為所述目標轉速時，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。

5.根據權利要求3所述的干式真空泵裝置，其特征在于，

所述控制裝置在與所述第2電流限制值相當的電流的輸出時間超過了預定的閾值的情況下，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。

6.根據權利要求1所述的干式真空泵裝置，其特征在于，

還具有測定所述泵單元的溫度的至少一個溫度傳感器，

所述控制裝置在由所述溫度傳感器測定的所述溫度超過預定的閾值時，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。

7.根據權利要求6所述的干式真空泵裝置，其特征在于，

所述至少一個溫度傳感器選自測定所述干式真空泵的泵殼體的溫度的溫度傳感器、測定所述干式真空泵的軸承的溫度的溫度傳感器、測定所述馬達的溫度的溫度傳感器、測定所述干式真空泵的泵轉子的溫度的溫度傳感器、測定所述干式真空泵的吸入氣體的溫度的溫度傳感器、以及測定所述干式真空泵的排出氣體的溫度的溫度傳感器。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的干式真空泵裝置，其特征在于，

所述至少一個泵單元是將大氣壓的氣體排出的主泵單元和將真空壓的氣體排出的增壓泵單元，

以使供給到所述干式真空泵裝置的電力不超過預先設定的值的方式運轉所述主泵和所述增壓泵。

9.一種控制裝置，用于干式真空泵裝置，所述干式真空泵裝置具有干式真空泵、驅動所述干式真空泵的馬達、和控制所述馬達轉速的逆變器，其特征在于，

所述控制裝置具有將所述逆變器的輸出電流限制值從第1電流限制值切換為第2電流限制值的功能，所述第1電流限制值是所述逆變器能夠連續流向所述馬達的電流的最大值即連續額定電流值，所述第2電流限制值是超過所述連續額定電流值的值。

10.根據權利要求9所述的控制裝置，其特征在于，

所述控制裝置按照來自設置于所述干式真空泵裝置外部的外部指令裝置的指令，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第1電流限制值切換為所述第2電流限制值。

11.根據權利要求9所述的控制裝置，其特征在于，

所述控制裝置在所述逆變器輸出與所述第1電流限制值相當的電流時，在所述干式真空泵的轉速低于預定的目標轉速的情況下，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第1電流限制值切換為所述第2電流限制值。

12.根據權利要求11所述的控制裝置，其特征在于，

所述控制裝置在檢測到所述泵的轉速恢復為所述目標轉速時，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。

13.根據權利要求11所述的控制裝置，其特征在于，

所述控制裝置在與所述第2電流限制值相當的電流的輸出時間超過了預定的閾值的情況下，將所述逆變器的輸出電流限制值從所述第2電流限制值切換為所述第1電流限制值。