[發明專利]一種基于柔性襯底的具有CRS行為的阻變存儲器及其制備方法無效
| 申請號： | 201310460043.3 | 申請日： | 2013-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN103474572A | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 孫清清;戴亞偉;王鵬飛;張衛;周鵬 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | H01L45/00 | 分類號： | H01L45/00;G11C13/00 |
| 代理公司： | 上海正旦專利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陸飛;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 柔性 襯底 具有 crs 行為 存儲器 及其 制備 方法 | ||
1.?一種基于柔性襯底的具有CRS行為的阻變存儲器，其特征在于，包括：
由柔性材料組成的襯底；
位于上述襯底之上的底部電極層；
位于底部電極層之上的阻變功能層；
位于阻變功能層之上的頂部電極層。
2.?一種如權利要求1所述的基于柔性襯底的具有CRS行為的阻變存儲器的制備方法，其特征在于具體步驟為：
（1）在柔性襯底上懸涂一層底部電極；
（2）采用低溫原子層淀積方法在低反應溫度下，生長介質層；
（3）在上述步驟形成的結構上，采用物理氣相淀積方法制備活躍的頂部電極，自然構造堆棧功能層；
（4）然后用物理氣相淀積方法生長惰性頂部電極。
3.?根據權利要求2?所述的制備方法，其特征在于，所述的襯底材料為聚乙烯對苯二酸脂、聚酰亞胺、硅橡膠、聚對苯二甲酸乙二醇脂或硅樹脂有機聚合物材料，或者金屬陶瓷材料。
4.?根據權利要求2?所述的制備方法，其特征在于，所述的頂部活躍電極材料為Ni或Ti，頂部惰性電極材料為Pt、Al、Au或者Pd。
5.?根據權利要求2?所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）所述介質層的生長采用低溫原子層淀積方法，其步驟包括多個循環生長周期，對于每個生長周期，交替脈沖式地通入金屬有機源和另一種氣體或者液體源，并進行兩次吹洗以保證自限制生長，通過控制生長不同的循環周期數，最終獲得所需厚度薄膜。
6.?根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）所述介質層材料為Al2O3、HfO2、ZrO2或TiO2金屬氧化物。
7.?根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，步驟（3）所述堆棧功能層材料為Al2O3-x/NiOx，HfO2-x/NiOx，ZrO2-x/NiOx，或TiO2-x/NiOx。
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