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[發(fā)明專利]一種消除硅片粘接面線痕的方法在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201310457564.3 申請(qǐng)日: 2013-09-30
公開(kāi)(公告)號(hào): CN103552162A 公開(kāi)(公告)日: 2014-02-05
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 馬明濤;邵斌;王振國(guó);郭立洲 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 洛陽(yáng)鴻泰半導(dǎo)體有限公司
主分類號(hào): B28D5/04 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 洛陽(yáng)市凱旋專利事務(wù)所 41112 代理人: 陸君
地址: 471000 河南省洛陽(yáng)市高新*** 國(guó)省代碼: 河南;41
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 消除 硅片 粘接面線痕 方法
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種消除硅片粘接面線痕的方法,包括粘接墊板(1)、硅棒(4)、膠層(2)和刮膠工具(3),其特征是:所述消除硅片粘接面線痕的方法的操作步驟如下:

第一步,取10%的微粉,去除雜質(zhì)后進(jìn)行烘干(95℃/2小時(shí))去除其中水分,再用800目的濾網(wǎng)過(guò)濾掉微粉中的大顆粒后備用;

進(jìn)一步,分別取40%的A膠和40%的B膠,然后放入調(diào)膠杯中快速攪拌均勻,攪拌均勻后再加入烘干后的微粉再進(jìn)行攪拌,攪拌均勻后將硅棒(4)粘貼在粘接墊板(1)上,粘好后等膠固化7—10分鐘后形成膠層(2),再利用刮膠工具(3)沿著粘接墊板(1)的側(cè)面鏟掉多余的膠即可。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種消除硅片粘接面線痕的方法,其特征是:所述微粉的硬度為9-9.5(莫氏),微粉粒徑為0.005-0.015mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種消除硅片粘接面線痕的方法,其特征是:所述A膠和B膠的粘度為40000-55000cps/25℃,?A膠和B膠的固化強(qiáng)度≥13Mpa。

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