[發明專利]鎓鹽化合物、由它衍生出的酸增強劑及含有它的抗蝕劑組合物有效
| 申請號： | 201310454735.7 | 申請日： | 2013-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN103772252B | 公開（公告）日： | 2017-01-11 |
| 發明（設計）人： | 朱炫相;金真湖;韓俊熙;柳京辰 | 申請（專利權）人： | 錦湖石油化學株式會社 |
| 主分類號： | C07C381/12 | 分類號： | C07C381/12;C07C303/32;C07C309/12;C07D333/46;G03F7/00;C08F220/28;C08F220/32;C08F220/38;G03F7/004 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鹽化 衍生 增強 含有 抗蝕劑 組合 | ||
1.一種鎓鹽化合物，具有下述化學式1的結構，
化學式1
在所述化學式中，
R1為選自由氫原子、碳原子數為1至8的烷基、碳原子數為1至8的烷氧基、至少一個氫被鹵素原子取代的鹵代烷基及它們的組合所組成的組中，
R2和R3分別獨立為選自由氫原子、碳原子數為1至8的烷基、碳原子數為1至8的烷氧基、全氟烷基、全氟烷氧基、鹵基、羥基、羧基、氰基、硝基、氨基、硫基及它們的組合所組成的組中，
A為具有下述化學式2的結構的有機陽離子，
化學式2
在所述化學式中，
Ra和Rb分別獨立為選自由碳原子數為1至8的烷基、碳原子數為3至30的環烷基、碳原子數為6至30的芳基、碳原子數為3至30的雜芳基、碳原子數為2至30的雜環烷基及它們的組合所組成的組中，或者所述Ra和Rb與Ra和Rb結合的S連接而形成碳原子數為2至7的雜環烷基，
Rc為選自由碳原子數為6至30的亞芳香基、碳原子數為5至30的雜亞芳香基及碳原子數為2至30的雜環亞烷基所組成的組中，
Rd為選自由至少一個氫被吸電子體取代或未取代的碳原子數為1至30的烷基、碳原子數為3至30的環烷基、碳原子數為6至30的芳基及它們的組合所組成的組中。
2.如權利要求1所述的鎓鹽化合物，其中，
所述吸電子體選自由F、Cl、Br、I、CN、NO2、至少一個氫被鹵基取代的鹵代烷基、PO(ORe)2、ORe、ReCOO、SO、SO2及SO2Re所組成的組中，此時，所述Re為選自由碳原子數為1至8的烷基、至少一個氫被鹵基取代的鹵代烷基及碳原子數為6至30的芳基所組成的組中。
3.如權利要求1所述的鎓鹽化合物，其中，
所述R2和R3分別獨立為碳原子數為1至6的烷基。
4.如權利要求1所述的鎓鹽化合物，其中，
所述Ra和Rb分別獨立為選自由碳原子數為1至6的烷基、碳原子數為3至18的環烷基、碳原子數為6至18的芳基、在環內至少含有一個以上選自由N、O、P和S所組成的組中的雜原子的碳原子數為3至18的雜芳基及碳原子數為2至18的雜環烷基所組成的組中，或者所述Ra和Rb、Ra和Rb結合的S連接而形成碳原子數為2至5的雜環烷基，
所述Rc為選自由碳原子數為6至18的亞芳香基、在環內至少含有一個以上選自由N、O、P和S所組成的組中的雜原子的碳原子數為5至18的雜亞芳香基及碳原子數為2至18的雜環亞烷基所組成的組中，而且，
所述Rd為至少一個氫被吸電子體取代或未取代的碳原子數為1至6的烷基、碳原子數為3至18的環烷基、碳原子數為6至30的芳基及碳原子數為7至18的芳烷基。
5.如權利要求1所述的鎓鹽化合物，其中，
所述A為選自由下述化學式2-1至2-12所組成的組中，
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