[發明專利]多功能晶體生長爐

無效

• 申請號: 201310453472.8
• 申請日: 2013-09-29
• 公開（公告）號: CN103526300A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 張海林;崔慧敏;臧一平
• 申請（專利權）人: 青島賽瑞達電子裝備股份有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B11/00
• 代理公司: 山東清泰律師事務所 37222
• 代理人: 寧燕

1.一種多功能晶體生長爐，其特征在于它包括機架、坩堝平移機構、坩堝組成、加熱爐平移機構、加熱爐；其中坩堝平移機構固定在機架一端，加熱爐平移機構固定在機架另一端；坩堝組成與坩堝平移機構固定連接，加熱爐與平移爐升降機構固定連接；加熱爐為中空爐膛，坩堝組成位于爐膛內。

2.根據權利要求1所述多功能晶體生長爐，其特征在于所述坩堝組成包括坩堝桿、坩堝定位托盤、坩堝保溫托、石英瓶，其中坩堝桿通過軸承單元與坩堝平移機構連接，坩堝定位托盤同軸固定在坩堝桿頂端，坩堝保溫托同心固定在坩堝定位托盤上表面，石英瓶同軸固定在坩堝保溫托頂端，坩堝同心封裝在石英瓶內。

3.根據權利要求1或2所述多功能晶體生長爐，其特征在于所述加熱爐平移機構和坩堝平移機構包括驅動電機及減速器、絲杠、絲母、滑塊、導軌、支撐板，其中驅動電機與減速器連接，減速器與絲杠連接，絲杠與絲母配合，絲母及滑塊均固定在支撐板上，導軌固定在機架上，其方向與絲杠平行，滑塊與導軌滑動配合。

4.根據權利要求1或2所述多功能晶體生長爐，其特征在于所述坩堝桿旋轉機構包括旋轉電機、減速器、軸承單元、齒形帶、齒形帶輪；其中軸承單元包括軸承盒與軸承，軸承位于軸承盒內部與之固定連接；旋轉電機與軸承盒均固定在支撐板上；旋轉電機與減速器連接，減速器與工作桿通過齒形帶相連；齒形帶輪與齒形帶配合；軸承與坩堝桿配合。

5.根據權利要求3所述多功能晶體生長爐，其特征在于所述坩堝桿旋轉機構包括旋轉電機、減速器、軸承單元、齒形帶、齒形帶輪；其中軸承單元包括軸承盒與軸承，軸承位于軸承盒內部與之固定連接；旋轉電機與軸承盒均固定在支撐板上；旋轉電機與減速器連接，減速器與工作桿通過齒形帶相連；齒形帶輪與齒形帶配合；軸承與坩堝桿配合。

6.根據權利要求5所述多功能晶體生長爐，其特征在于所述坩堝桿為空心桿，坩堝保溫托軸心設置通孔，二者內部安裝有測溫熱偶。

7.根據權利要求6所述多功能晶體生長爐，其特征在于所述多功能晶體生長爐還包括一個接線滑環，所述接線滑環固定在坩堝桿底部，并與坩堝桿內部的測溫熱偶接線。

8.根據權利要求7所述多功能晶體生長爐，其特征在于所述加熱爐平移機構和坩堝平移機構的兩端還設置傳感器。

9.根據權利要求8所述多功能晶體生長爐，其特征在于所述多功能晶體生長爐還包括一個殼體，設置在整個設備外部。