[發(fā)明專利]雙工位CVD爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310453271.8
• 申請日: 2013-09-29
• 公開（公告）號: CN103498192A
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張海林;崔慧敏
• 申請（專利權(quán)）人: 青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司
• 主分類號: C30B25/02
• 分類號: C30B25/02;C30B25/08;C30B25/14
• 代理公司: 山東清泰律師事務(wù)所 37222
• 代理人: 寧燕

1.一種雙工位CVD爐，其特征在于它包括一個工藝腔室和兩個輔助工作腔室；其中在長度方向上工藝腔室位于兩個輔助工作腔室之間，三者通過真空閥門密封連接；工藝腔室上設(shè)置真空抽口和充氣口；輔助工作腔室內(nèi)安裝有平移機(jī)構(gòu)；平移機(jī)構(gòu)在近工藝腔室的一端與石英舟固定連接，另一端固定有密封門；該密封門與輔助工作腔室位于近工藝腔室一端的內(nèi)面相配合；輔助工作腔室上設(shè)置裝取料門。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述雙工位CVD爐，其特征在于所述輔助工作腔室上設(shè)置有真空抽口。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1或2所述雙工位CVD爐，其特征在于所述平移機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動電機(jī)、絲杠、絲母、滑塊、導(dǎo)軌、支架，其中電機(jī)與絲杠連接，絲杠與絲母配合，絲母及滑塊均固定在支架上，導(dǎo)軌固定在輔助工藝腔室內(nèi)，方向與絲杠平行，滑塊與導(dǎo)軌滑動配合。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1或2所述雙工位CVD爐，其特征在于所述工藝腔室與真空閥門之間的密封連接方式為密封組件，所述密封組件為不銹鋼材質(zhì)的中空結(jié)構(gòu)，中空處設(shè)置冷卻水水道，密封組件兩端均設(shè)置有密封圈，分別與工藝腔室及真空閥門密封連接。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1或2所述雙工位CVD爐，其特征在于所述雙工位CVD爐還包括加熱器，套在工藝腔室外部，可單端或多段控溫，可完整筒狀爐體或開合式半開爐體。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述雙工位CVD爐，其特征在于所述雙工位CVD爐還包括磁流體，安裝在輔助工作腔室遠(yuǎn)離工作腔室的端面上，其兩端分別與驅(qū)動電機(jī)及絲杠同軸連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述雙工位CVD爐，其特征在于所述雙工位CVD爐還包括真空泵、真空閥、真空管路、真空計(jì)，其中真空計(jì)分別固定在工藝腔室和輔助工作腔室上并通入腔內(nèi)，真空管路兩端分別與抽真空口及真空泵連接，真空閥安裝在真空管路上。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述雙工位CVD爐，其特征在于它還包括位置傳感器，安裝在導(dǎo)軌一端。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述雙工位CVD爐，其特征在于所述工藝腔室材質(zhì)為石英或不銹鋼。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述雙工位CVD爐，其特征在于所述裝取料門上設(shè)置觀察窗，觀察窗與與裝取料門之間密封連接。